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基板認識カメラ (Y 軸、X 軸 ) 記 号 名 称 記 号 名 称 B331 基板認識 Y 軸原点 M33 基板認識 Y 軸モータ B334 基板認識 Y 軸回転原点 M35 基板認識 X 軸モータ B46 基板認識 Y 軸インタ ロック B351 基板認識 X 軸原点 B353 基板認識 X 軸 − オーバーラン B354 基板認識 X 軸回転原点 0906-002 M33 B354 M35 B46 B331 B334 B353 B…
テーブル部 (Z 軸、基板上下軸 )
記 号 名 称 記 号 名 称
B171 テーブル Z 軸原点 M17 テーブル Z 軸
サーボモータ
B172 テーブル Z 軸
+ オーバーラン
M23 基板上下軸
サーボモータ
B173 テーブル Z 軸
− オーバーラン
B4C テーブル Z 軸
インタロック
B4D テーブル Z 軸補正位置
B231 基板上下軸原点
B232 基板上下軸
− オーバーラン
B233 基板上下軸
+ オーバーラン
0906-002
M23
M17
B232(D)
B233
B231(U)
B173
B4C
B4D
B172
B171
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基板認識カメラ (Y 軸、X 軸 )
記 号 名 称 記 号 名 称
B331 基板認識 Y 軸原点 M33 基板認識 Y 軸モータ
B334 基板認識 Y 軸回転原点 M35 基板認識 X 軸モータ
B46 基板認識 Y 軸インタ
ロック
B351 基板認識 X 軸原点
B353 基板認識 X 軸
− オーバーラン
B354 基板認識 X 軸回転原点
0906-002
M33
B354
M35
B46
B331
B334
B353
B351
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基板認識カメラ ( 基板反り検出、認識カメラ、バックアップピン吸着 )
記 号 名 称 記 号 名 称
B65 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 下限
Y78 基板反り押え押え側 ( 出 )
B66 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 上限
Y79 基板ストッパ出側
B67 右ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 下限
Y7C 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ﾍｯﾄﾞ
上下
B68 右ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 上限
Y9A 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ﾍｯﾄﾞ
吸着
B69 基板確認 Y9C 右ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ﾍｯﾄﾞ
吸着
B6A 基板反り押え上昇確認 B04 基板認識カメラ
B89 左バックアップピン吸着
ヘッド 吸着確認
E7A 基板認識照明
B8A 右バックアップピン吸着
ヘッド 吸着確認
0906-002
Y78�
Y79
Y7C
B6A
B89
B8A
B9A
B9C
B65
B66
E7A
B67
B68
B69
B04
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