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コンベア (R) 記 号 名 称 記 号 名 称 B371 R コンベア幅軸原点 M37 R コンベア幅軸 B40 R コンベア基板到達確認 M41 R コンベア基板搬送 1 B41 R コンベア基板通過確認 M43 R コンベア基板搬送 2 Y50 R コンベア基板ストッパ 出側 Y51 R コンベア基板ストッパ 戻側 0906-002 M41 M37 M43 B371 B41 B40 Y50 Y51 2-10 5OM-1501

100%1 / 141
コンベア (L)
記 号 名 称 記 号 名 称
B371 L コンベア幅軸原点 M37 L コンベア幅軸
B40 L コンベア基板移載確認 M41 L コンベア基板搬送 1
B41 L コンベア基板検出 M43 L コンベア基板搬送 2
B42 L コンベア基板ストッパ
上限
Y50 基板ストッパ出側
L コンベア
Y51 基板ストッパ戻側
L コンベア
0906-002
2-9
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コンベア (R)
記 号 名 称 記 号 名 称
B371 R コンベア幅軸原点 M37 R コンベア幅軸
B40 R コンベア基板到達確認 M41 R コンベア基板搬送 1
B41 R コンベア基板通過確認 M43 R コンベア基板搬送 2
Y50 R コンベア基板ストッパ
出側
Y51 R コンベア基板ストッパ
戻側
0906-002
2-10
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クリーニング部
記 号 名 称 記 号 名 称
B80 溶剤切れ予告 M02 ペーパ巻き取りモータ
B81 クリーニングノズル上限 Y56 溶剤吐出ポンプ
B82 クリーニングノズル下限 Y57 チャック吸引
B83 ペーパ送りピッチ検出 Y59 クリーニングノズル上下
上昇
B84 ペーパ切れ予告 Y5A クリーニングノズル上下
下降
0906-002
2-11
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