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エア配管図（基板ストッパ、吸着ヘッド上下） 0906-003-(1090000201) φ6 L1500 A B A B 基板押え 左吸着ヘッド上下 R2 R1 B A PD PE PS PV PD PE PS PV 配管φ6.0 排気 配管φ6.0 1700mm 配管φ6.0 1700mm 右吸着ヘッド上下 基板ストッパ 41 42 44 45 46 45 46 44 48 48 47 47 43 No. 名称 個数 41 ソレノイド…
エア配管図（コンベア、基板チャック部）
0906-003-(1090000201)
φ6
L2600
φ6
L900
フラットケーブル
ケーブルベア
φ6
L1800
φ4 L250
Lコンヘ″ア基板ストッハ°
Rコンヘ″ア基板ストッハ°
基板チャック
φ4
L4000
φ4
L4000
Y55
Y54
Y51
Y50
Y51
Y50
SET
31
31
34
35
36
32
37
32
33
33
No. 名称 個数
31 ソレノイドバルブ 2
32 スピードコントローラ 4
33 シリンダ 2
34 ソレノイドバルブ 1
35 レギュレータ 1
36 スピードコントローラ 2
37 シリンダ 1
1-4
5OM-1501
エア配管図（基板ストッパ、吸着ヘッド上下）
0906-003-(1090000201)
φ6
L1500
A
B
A
B
基板押え
左吸着ヘッド上下
R2
R1
B
A
PD
PE
PS
PV
PD
PE
PS
PV
配管φ6.0
排気
配管φ6.0
1700mm
配管φ6.0
1700mm
右吸着ヘッド上下
基板ストッパ
41
42
44
45
46
45
46
44
48
48
47
47
43
No. 名称 個数
41 ソレノイドバルブユニット 1
42 スピードコントローラ 1
43 シリンダ 1
44 レギュレータ 2
45 スピードコントローラ 4
46 シリンダ 2
47 真空バルブ 2
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5OM-1501
エア配管図（クリーニングユニット）
0906-003-(1090000201)
φ4
切り替えシャッタ
φ6
φ6
φ6
φ6
φ6
1/8
1/8 1/8
1/8
チャック吸引
Y059
Y05A
φ6
下降
クリーニンク"上下
φ6
φ6
クリーニング吸引
φ6
1/8
φ6
φ4
SC2
φ6
φ6 L1600
溶剤タ ンク
架台に設置
Y57
Y56
φ4 L1700
SET
G
G
51
52
54
56
59
57
58
55
53
No. 名称 個数
51 ソレノイドバルブユニット 1
52 スピードコントローラ 2
53 シリンダ 1
54 スピードコントローラ 4
55 シリンダ 2
56 レギュレータ 1
57 真空バルブ 1
58 スピードコントローラ 2
59 圧力ゲージ 1
1-6
5OM-1501