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エア配管図（コンベア、基板チャック部） 0906-003-(1090000201) φ6 L2600 φ6 L900 フラットケーブル ケーブルベア φ6 L1800 φ4 L250 Lコンヘ″ア基板ストッハ° Rコンヘ″ア基板ストッハ° 基板チャック φ4 L4000 φ4 L4000 Y55 Y54 Y51 Y50 Y51 Y50 SET 31 31 34 35 36 32 37 32 33 33 No. 名称 個数 31 ソレノイ…
エア配管図（スクリーンホルダ、スキージヘッド）
0906-003-(1090000201)
φ4
P
R
A
φ4
φ4
φ4
φ4
φ6
φ6
Y071
Y070
上昇
スクリーン上押さえ
（右側奥）
スクリーン上押さえ
（右側）
スクリーン上押さえ
（左側）
スクリーン上押さえ
（左側）
ロック
ロック
ロックロック
φ4
φ4
φ4
φ4
φ4
φ4
スキ－シ゛後上下
スキ－シ゛前上下
φ6
φ4
L2500
φ4
L2700
スキージ後クランプ
スキージ前クランプ
R1
P
P
A
EXH
OUT
SUP
ロック
ロック
上昇
φ4
φ4
φ4
φ4φ4
φ4
φ4
スキ－シ¨中間ストッパー
スキ－シ¨中間ストッパー
上昇
上昇
φ6
L1100
φ6
L2300
φ6
L1500
φ6
L2000
φ6 L1700
φ4
L2600
ケーフ″ルヘ″ア
ケーフ″ルヘ″ア
SET
G
G
11
12
13
29
13
30
17
17
2626
14
16
25
29
27
15
18
18
19
28
23
24
20 20
19
21
22
No. 名称 個数
11 レギュレータ 1
12 電空レギュレータ 1
13 ユニオンワイ 2
14 ストレートエルボ 1
15 管継手 1
16 ソレノイドバルブユニット 1
17 スピードコントローラ 2
18 メカバルブ 2
19 サイレンサ 4
20 シリンダ 2
21 メカバルブ 1
22 サイレンサ 2
23 シリンダ 1
24 シリンダ 3
25 ソレノイドバルブ 1
26 スピードコントローラ 4
27 サイレンサ 2
28 シリンダ 2
29 ユニオンワイ 4
30 シリンダ 2
1-3
5OM-1501
エア配管図（コンベア、基板チャック部）
0906-003-(1090000201)
φ6
L2600
φ6
L900
フラットケーブル
ケーブルベア
φ6
L1800
φ4 L250
Lコンヘ″ア基板ストッハ°
Rコンヘ″ア基板ストッハ°
基板チャック
φ4
L4000
φ4
L4000
Y55
Y54
Y51
Y50
Y51
Y50
SET
31
31
34
35
36
32
37
32
33
33
No. 名称 個数
31 ソレノイドバルブ 2
32 スピードコントローラ 4
33 シリンダ 2
34 ソレノイドバルブ 1
35 レギュレータ 1
36 スピードコントローラ 2
37 シリンダ 1
1-4
5OM-1501
エア配管図（基板ストッパ、吸着ヘッド上下）
0906-003-(1090000201)
φ6
L1500
A
B
A
B
基板押え
左吸着ヘッド上下
R2
R1
B
A
PD
PE
PS
PV
PD
PE
PS
PV
配管φ6.0
排気
配管φ6.0
1700mm
配管φ6.0
1700mm
右吸着ヘッド上下
基板ストッパ
41
42
44
45
46
45
46
44
48
48
47
47
43
No. 名称 個数
41 ソレノイドバルブユニット 1
42 スピードコントローラ 1
43 シリンダ 1
44 レギュレータ 2
45 スピードコントローラ 4
46 シリンダ 2
47 真空バルブ 2
1-5
5OM-1501