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基板認識カメラ ( 基板反り検出、 認識カメラ、 バックアップピン吸着 ) 記 号 名 称 記 号 名 称 B65 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド 上下 下限 Y78 基板反り押え押え側 ( 出 ) B66 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド 上下 上限 Y79 基板ストッパ出側 B67 右ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド 上下 下限 Y7C 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ﾍｯﾄﾞ 上下 B68 右ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド 上…

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基板認識カメラ (Y 軸、X 軸 )
記 号 名 称 記 号 名 称
B331 基板認識 Y 軸原点 M33 基板認識 Y 軸モータ
B334 基板認識 Y 軸回転原点 M35 基板認識 X 軸モータ
B46 基板認識 Y 軸インタ
ロック
B351 基板認識 X 軸原点
B353 基板認識 X 軸
− オーバーラン
B354 基板認識 X 軸回転原点
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基板認識カメラ ( 基板反り検出、認識カメラ、バックアップピン吸着 )
記 号 名 称 記 号 名 称
B65 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 下限
Y78 基板反り押え押え側 ( 出 )
B66 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 上限
Y79 基板ストッパ出側
B67 右ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 下限
Y7C 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ﾍｯﾄﾞ
上下
B68 右ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 上限
Y9A 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ﾍｯﾄﾞ
吸着
B69 基板確認 Y9C 右ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ﾍｯﾄﾞ
吸着
B6A 基板反り押え上昇確認 B04 基板認識カメラ
B89 左バックアップピン吸着
ヘッド 吸着確認
E7A 基板認識照明
B8A 右バックアップピン吸着
ヘッド 吸着確認
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コンベア (L)
記 号 名 称 記 号 名 称
B371 L コンベア幅軸原点 M37 L コンベア幅軸
B40 L コンベア基板移載確認 M41 L コンベア基板搬送 1
B41 L コンベア基板検出 M43 L コンベア基板搬送 2
B42 L コンベア基板ストッパ
上限
Y50 基板ストッパ出側
L コンベア
Y51 基板ストッパ戻側
L コンベア
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