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4-8 5OM-1501 ホンタイハーネス接続資料 8 4 4 4 4 4 44 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 103H7126-6740 4 4 5 5 8 4 4 2 OUT S14 5 5 5 4 4 4 H00 M33 B334 B46 B331 4 4 4 4 Y55 Y54 M06 M07 U07 A A矢視 S15 B4A N82- N80- N81- SET OUT PRESSURE SET OUT PRESS…
4-7
5OM-1501
ホンタイハーネス接続資料 7
0906-001-(109000203-4)
S11
S06
H06
5
5 5
8
8
8
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8
8
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5 5
5 5
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8
5
5
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5
5
5 5
6
5
5
44
M19
103H7126-6740
M33
M33
B293
B291
B294
4
4
4
4
B80
4-8
5OM-1501
ホンタイハーネス接続資料 8
4
4
44
4
44
4
4
44
4
4
4
4 4 4
103H7126-6740
44
55
8
4 4
2 OUT
S14
5 5
5
4
4
4
H00
M33
B334
B46B331
4
4
4 4
Y55 Y54
M06
M07
U07
A
A矢視
S15 B4A
N82- N80-
N81-
SET
OUT
PRESSURE
SET
OUT
PRESSURE
G
4
5 5
H26
H25
H24
H27
LAN2 USB1
LAN1
0906-001-(109000203-4)
4-9
5OM-1501
テーブル部ハーネス接続資料 1
0906-001-(209004048-1)
融着ケーブル
テーブル幅軸原点
B251
Ｘ1251 Ｘ251
PX-119
X5000 Ｘ5001
B233
Ｘ1231 Ｘ233
PX-113
基板ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟ上下軸原点
B231
基板ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟ上下軸＋オーバーラン
B232
基板ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟ上下軸－オーバーラン
B48
Ｘ1048 Ｘ2048
基板横クランプ前進限
PX-077
幅異常検出（受光側）
B49
B49T
幅異常検出（投光側）
B49
B49T
ケーブルベア
Ｘ510 Ｘ1510
PX-157
M51
テーブル基板搬送２モーター
M51
Ｘ170 M17
Ｘ1175 X175
X2170
X4170
X1170
M17B
青
テーブルＺ軸モーター
M
PG
M17
Ｘ230 M23
Ｘ1235 X235
X1230
X4230
X2230
M23E
基板バックアップ上下軸モーター
M
PG
M23
X23B
青
M25X250
M25
テーブル幅軸モーター
X1490X490
PX-155
M49
テーブル基板搬送１モーター
M49
テーブルθ軸モーター
M
PG
M21
X211
B211
テーブルθ軸原点
B212
テーブルθ軸＋オーバーラン
B213
テーブルθ軸－オーバーラン
PX-103
M21
X215
PX-105
PX-107
X210
X1215
X171
B171
テーブルＺ軸原点
B172
テーブルＺ軸テーブル＋オーバーラン
B4D
テーブルＺ軸補正位置
PX-093
X104C
B4C
テーブルＺ軸インターロック
B173
テーブルＺ軸テーブル＋オーバーラン
ケーブルベア
注１
注１
IO-M25
IO-M23
IO-N05
MO-M51
MO-Z
EN-Z
MO-M23
EN-M23
MO-M25
MO-M49
ハーネス PX-118：X1251に接続
ハーネス PX-112：X1231に接続
ハーネス PX-076：X1048に接続
ハーネス PX-156：X510に接続
ハーネス PX-094：X170に接続
ハーネス PX-096：X1175に接続
ハーネス PX-094：X2170に接続
ハーネス PX-094：X4170に接続
ハーネス PX-095：X1170に接続
ハーネス PX-114：X230に接続
ハーネス PX-116：X1235に接続
ハーネス PX-114：X1230に接続
ハーネス PX-114：X4230に接続
ハーネス PX-115：X2230に接続
ハーネス PX-120：X250に接続
ハーネス PX-154：X490に接続
ハーネス PX-104：X210に接続
ハーネス PX-106：X1215に接続
ハーネス PX-102：X211に接続
ハーネス PX-091：X171に接続
ハーネス PX-079：X104Cに接続
予 備