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コンベア (L) 記 号 名 称 記 号 名 称 B371 L コンベア幅軸原点 M37 L コンベア幅軸 B40 L コンベア基板移載確認 M41 L コンベア基板搬送 1 B41 L コンベア基板検出 M43 L コンベア基板搬送 2 B42 L コンベア基板ストッパ 上限 Y50 基板ストッパ出側 L コンベア Y51 基板ストッパ戻側 L コンベア 0906-002 M41 M37 M43 B42 B371 B40 B41 Y5…

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基板認識カメラ ( 基板反り検出、認識カメラ、バックアップピン吸着 )
記 号 名 称 記 号 名 称
B65 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 下限
Y78 基板反り押え押え側 ( 出 )
B66 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 上限
Y79 基板ストッパ出側
B67 右ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 下限
Y7C 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ﾍｯﾄﾞ
上下
B68 右ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ヘッド
上下 上限
Y9A 左ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ﾍｯﾄﾞ
吸着
B69 基板確認 Y9C 右ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾋﾟﾝ吸着ﾍｯﾄﾞ
吸着
B6A 基板反り押え上昇確認 B04 基板認識カメラ
B89 左バックアップピン吸着
ヘッド 吸着確認
E7A 基板認識照明
B8A 右バックアップピン吸着
ヘッド 吸着確認
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コンベア (L)
記 号 名 称 記 号 名 称
B371 L コンベア幅軸原点 M37 L コンベア幅軸
B40 L コンベア基板移載確認 M41 L コンベア基板搬送 1
B41 L コンベア基板検出 M43 L コンベア基板搬送 2
B42 L コンベア基板ストッパ
上限
Y50 基板ストッパ出側
L コンベア
Y51 基板ストッパ戻側
L コンベア
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コンベア (R)
記 号 名 称 記 号 名 称
B371 R コンベア幅軸原点 M37 R コンベア幅軸
B40 R コンベア基板到達確認 M41 R コンベア基板搬送 1
B41 R コンベア基板通過確認 M43 R コンベア基板搬送 2
Y50 R コンベア基板ストッパ
出側
Y51 R コンベア基板ストッパ
戻側
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