KE-2070_80_80R_Operation_Manual2_Rev10_C.pdf - 第379页
操作手册Ⅱ 5-18 真空泵分解图 No. 名称 No. 名称 1 壳 10 O 环 S-67 2 泵头护罩 11 密封圈 3 泵头盘 12 排气阀按压件 4 碗形密封气缸 13 排气阀 5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫 6 固定器 15 O 环 P-10 7 碗形密封垫 16 内六角螺栓（ M5×20 ） 8 吸气阀 17 平头小螺钉 (M4×8) 9 连接管 18 圆头小螺钉 (M3×5)
操作手册Ⅱ
5-17
●吸气阀、排气阀的更换
1） 松开圆头螺钉(M3×5) ，按下并取下排气阀。
2） 擦干净泵头盘，更换新的排气阀。
3） 盖上排气阀按压件，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉(M3×5)
对泵头盘进行固定。
4） 松开固定吸气阀的圆头螺钉(M3×5)，取下吸气阀和垫片。
5） 擦干净泵头盘，更换新的吸气阀。在将吸气孔、排气孔完全覆盖状态下，安装吸气阀、排气阀。
6） 叠好垫片，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉(M3×5)对
泵头盘进行固定。
※请按照密封材料更换步骤安装护罩。在更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各部位的更换
步骤操作。
吸气阀
垫片
※涂抹在螺钉头纹路2～3圈。
※螺钉前端处不要涂抹。
Loctite涂抹量
排气阀
排气阀按压件
泵头盘
操作手册Ⅱ
5-18
真空泵分解图
No. 名称 No. 名称
1 壳 10 O 环 S-67
2 泵头护罩 11 密封圈
3 泵头盘 12 排气阀按压件
4 碗形密封气缸 13 排气阀
5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫
6 固定器 15 O 环 P-10
7 碗形密封垫 16 内六角螺栓（M5×20）
8 吸气阀 17 平头小螺钉(M4×8)
9 连接管 18 圆头小螺钉(M3×5)
操作手册Ⅱ
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5-3 清扫
1) 请检查Ｘ轴单元和Ｙ軸单元轨道上有无附着垃圾、灰尘，并清扫干净。
把黄油揩干后，请涂抹新黄油。
＜Y 轴强力制动器解除开关＞
在装置左侧下面的位置设有解除 Y 轴强力制动器的开关（使 Y 轴马达 Free 的开关），供保
养时使用。
解除该开关后，很容易用手动方式把贴片头（X 轴）在 Y 方向上移动。
请把滑动罩全部打开，操作强力制动器解除开关。在通电状态下打开滑动罩时，
为了保障安全，机器会紧急停止。切勿在通电状态下进行操作。另外，在接通电源时，请确认
解除开关及滑动罩的状态。
・
通常状态
・
解除状态
清扫部位
5-3-1 XY轴直动单元
实施频度 ：每月
清扫内容 除去轨道上的灰尘、脏黄油
使用工具 ：
毛刷、抹布
使用黄油 ：
6459 润滑油 N
X 轴直动单元
Y 轴直动单元
危险
在通电状态下操作很危险。请务必在切断装置的电源后再进行操作。
打开滑动罩后再
操作。
滑动罩