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1 - 42 Tg 1300 -ID-MT 0607 - 002 4.2 基板横クランプ調整 4.2 基板横クランプ調整 薄い基板の場合、横押え力が大きいと基板が反ってしまうため適宜 減圧弁により調整してください。 減圧弁は L コンベアの左手前（作業者側）にあります。 減圧弁 Fig.4A61 基板厚に対するエア圧の目安 基板サイズ : 150 × 100、基板ストッパなしの場合 Table 4A13 基板厚 エア圧 0.5 1.0 …
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Tg1300-ID-MT
0607-002
4.1 消耗部品の交換と調整
(4) フィルタカバー奥のフランジにフィルタのセンタ穴が入るよう
にフィルタをセットします。
フランジ部
Fig.4A59
(5) ふたのセンタのフランジがフィルタのセンタ穴に入るように、
ふたを押さえながらクリップを固定します。
Fig.4A60
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Tg1300-ID-MT
0607-002
4.2 基板横クランプ調整
4.2 基板横クランプ調整
薄い基板の場合、横押え力が大きいと基板が反ってしまうため適宜
減圧弁により調整してください。
減圧弁は L コンベアの左手前（作業者側）にあります。
減圧弁
Fig.4A61
基板厚に対するエア圧の目安
基板サイズ : 150 ×
100、基板ストッパなしの場合
Table 4A13
基板厚
エア圧
0.5 1.0 1.5 2.0 (mm)
MPa 0.12 0.2 0.3 0.3
(kgf/cm
2
) (1.2) (2.0) (3.0) (3.0)
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0703-003
4.3 クリーニングペーパー交換方法（クリーニングペーパー幅変更方法）
4.3 クリーニングペーパー交換方法
（クリーニングペーパー幅変更方法）
注意
[ 運転モード / 段取 ] スイッチを“段取”に切替えて作業し
ます。
保守担当に定められた人のみが実施してください。
“生産運転”サブメニューバーの [ メンテナンス交換 ] ボタンを押す
と、以下の画面が表示されます。
操作手順
(1) [
クリーニング交換 ] タブを押します。
(2) [ 交換位置移動 ] ボタンを押します。
選択すると背景色が青色に変わります。
Fig.4A62