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1 - 12 Tg 1300 -ID-MT 3. メンテナンスか所 3. メンテナンスか所 3.1 全体図 注 意 装置のカバーを外しての作業も含まれます。 メンテナンス終了後は、カバーを取付けてください。 スキージヘッド部 スクリーンホルダ部 基板認識部 Rコンベア部 (搬出コンベア部) 基板チャック部 テーブル部 Lコンベア部 (供給コンベア部) 装置前面 制御用コンピュータ部 エア源 Fig. 4A3 (a) 各部の詳細なメンテナ…
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Tg1300-ID-MT
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2.5 6 か月ごとメンテナンス
Table 4A11-1
対象ユニット 点検、清掃、給油か所 作業
グリス
作業用具
チェック
3.3.11
制御ボックス部
（2 か所）
ファンモータ 清掃 - 掃除機、ブラシ
3.3.12
本体部
ファンモータ 清掃 - 掃除機、ブラシ
3.3.13
制御用
コンピュータ部
ファンモータ 清掃 - 掃除機
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Tg1300-ID-MT
3. メンテナンスか所
3. メンテナンスか所
3.1 全体図
注 意
装置のカバーを外しての作業も含まれます。
メンテナンス終了後は、カバーを取付けてください。
スキージヘッド部
スクリーンホルダ部
基板認識部
Rコンベア部
(搬出コンベア部)
基板チャック部
テーブル部
Lコンベア部
(供給コンベア部)
装置前面
制御用コンピュータ部
エア源
Fig. 4A3
(a) 各部の詳細なメンテナンスか所およびメンテナンス方法につい
ては、“3.3”以降を参照してください。
(b) オプションについては、各特別仕様の取扱説明書を参照してメ
ンテナンスを行ってください。
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Tg1300-ID-MT
3.1 全体図
クリーニング部
制御ボックス部
装置後面
Fig. 4A4
ブロアユニット(真空源)
装置上面
開閉扉部(後面)
開閉扉部(前面)
Fig. 4A5
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