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2 - 32 Tg 1300 -ID-MT 2.2 異常表示からのトラブルシューティング 0607 - 002 （08 スクリーン認識カメラ X 軸 ) Table 4B23 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 0801000 スクリーン認識カメラ X 原点 時間内に原点復帰が終了しませんでした。 （要因 1） センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。 （要因 2） センサの不良です。 （要因 3） ドライバの不調もし…
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B22
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0712000 基板認識カメラ Y インターロック
基板反り上押さえが下降しています。
（要因 1）
基板反り押さえが下降している状態で、基板認識 Y 軸を動作させようとしました。
（復帰方法 1） 基板反り押さえを上昇させてから操作を再開してください。
0713000 基板認識カメラ Y インターロック
クリーニングノズルが上昇しています。
（要因 1）
クリーニングノズル下限センサ（B81）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（要因 3） クリーニングノズルが上昇している状態で基板認識 Y 軸を動作しようとした。
（手動動作実行時）
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2）
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 全原点復帰後操作を再開してください。
0714000 基板認識カメラ Y タイミング
動作しようとしたときに停止していませんでした。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
0716000 基板認識カメラ Y 原点
原点復帰未完了
（要因 1）
原点復帰が未完了の状態で、モータ軸を動作しようとしました。
（復帰方法 1） 原点復帰を実行してください。
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
（08 スクリーン認識カメラ X 軸 ) Table 4B23
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0801000 スクリーン認識カメラ X 原点
時間内に原点復帰が終了しませんでした。
（要因 1）
センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度スクリーン認識 X 軸の原点復帰をしてくださ
い。
（復帰方法 2）
センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0802000 スクリーン認識カメラ X 原点
脱調を検出しました。
（要因 1）
過負荷によりモータが脱調しています
（復帰方法 1） スクリーン認識 X 軸付近に障害物がないか確認してから、原点復帰を実行し
て下さい。復帰しない場合には、当社サービスへ連絡してください。
0805000 スクリーン認識カメラ X サーボ
サーボアラーム信号が検出されました。
0808000
スクリーン認識カメラ X サーボ
ドライバー過熱
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
当社サービスに連絡して下さい。
0811000 スクリーン認識カメラ X タイミング
動作しようとしたときに停止していませんでした。
0812000
スクリーン認識カメラ X データ
目的値が装置の可動範囲を超えています。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
0814000 スクリーン認識カメラ X 原点
原点復帰未完了
（要因 1）
原点復帰が未完了の状態で、モータ軸を動作しようとしました。
（復帰方法 1） 原点復帰を実行してください。
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
(09 基板バックアップ軸 ) Table 4B24
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0901000 基板バックアップ軸 原点
時間内に原点復帰が終了しませんでした。
（要因 1）
センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度基板バックアップ軸の原点復帰をしてくださ
い。
（復帰方法 2）
センサの交換が必要になりますので、当社サービスへ連絡ください。
（復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0902000 基板バックアップ軸 原点
脱調を検出しました。
（要因 1）
過負荷によりモータが脱調しています。
（復帰方法 1） 基板バックアップ軸付近に障害物がないか確認してから、原点復帰を実行し
てください。復帰しない場合には、当社サービスへ連絡してください。
0905000 基板バックアップ軸 ドライバー
サーボアラーム信号が検出されました。
0908000 基板バックアップ軸 ドライバー
ドライバー過熱
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
当社サービスに連絡してください。
0911000 基板バックアップ軸 タイミング
動作しようとしたときに停止していませんでした。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
0912000 基板バックアップ軸 データ
目的値が装置の可動範囲を超えています。
（要因 1）
指定データが範囲を越えている可能性があります。
（復帰方法 1） 基板チャック高さ（オフセット）の値を確認してください。
0913000 基板バックアップ軸 原点
原点復帰未完了
（要因 1）
原点復帰が未完了の状態で、モータ軸を動作しようとしました。
（復帰方法 1） 原点復帰を実行してください。