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2 - 39 Tg 1300 -ID-MT 2.2 異常表示からのトラブルシューティング 0607 - 002 Table 4B30 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 1212000 排出側コンベア幅 データ 目的値が装置の可動範囲を超えています。 （要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。 （復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再…
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
(12 排出側コンベア ) Table 4B29
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
1201000 排出側コンベア幅 原点
時間内に原点復帰が終了しませんでした。
（要因 1）
センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度排出側コンベア幅軸の原点復帰をしてくださ
い。
（復帰方法 2）
センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
1202000 排出側コンベア幅 原点
脱調を検出しました。
（要因 1）
過負荷によりモータが脱調しています。
（復帰方法 1） 排出側コンベア幅軸付近に障害物がないか確認してから、原点復帰を実行し
てください。復帰しない場合には、当社サービスへ連絡してください。
1205000 排出側コンベア幅 ドライバー
サーボアラーム信号が検出されました。
1208000 排出側コンベア幅 ドライバー
ドライバー過熱
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開して下さい。復帰できない場合は、当
社サービスに連絡してください。
1210000 排出側コンベア幅 インターロック
テーブル X
軸が排出側コンベアに接近しすぎています。
（要因 1） テーブル X 軸インターロックセンサ（B4E、B4F）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（要因 3） テーブル X 軸が左右に寄っている状態でコンベア幅を動作しようとした。
（手動動作実行時）
（復帰方法 1）センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2）
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 全原点復帰後操作を再開してください。
1211000 排出側コンベア幅 インターロック
コンベア上に基板が残っています。
（要因 1）
コンベア上に基板がのこっているため、動作できません。
（要因 1） 基板検出センサ（B44、B45）の不良です。
（復帰方法 1） 基板を取り除いてから再操作してください。
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B30
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
1212000 排出側コンベア幅 データ
目的値が装置の可動範囲を超えています。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
1213000 排出側コンベア幅 原点
原点復帰未完了
（要因 1）
原点復帰が未完了の状態で、モータ軸を動作しようとしました。
（復帰方法 1） 原点復帰を実行してください。
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
(13 基板移載 ) Table 4B31
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
1301000 基板供給
基板検出後に前工程のワーク搬送信号が切れませんでした。
1302000 基板供給
基板検出前に前工程のワーク搬送信号が切れました。
（要因 1）
前工程との通信が合っていません。
（復帰方法 1） “原点・前後工程情報”タブで前工程からのワーク搬送信号を確認してくだ
さい。問題が解決しない場合には当社サービスに連絡ください。
1303000 供給側コンベア タイムオーバー
前工程からの基板搬送が所定時間内に終了しませんでした。
（要因 1）
タイマー設定値が短すぎる。
（要因 2） コンベア速度が遅すぎる。
（要因 3） 基板検出センサ（B41）が反応しない。
（復帰方法 1） “前後工程モード”タブで、“タイマー設定 （秒）”の“排出コンベア”の設
定値を大きくしてください。
（復帰方法 2）
L コンベアスピードコントロールのボリュームを上げてください。
（復帰方法 3） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサ位置の調整もしくは交換が必要になります。当
社サービスに連絡ください。
1304000 排出側コンベア タイムオーバー
後工程への基板排出が所定時間内に終了できませんでした。
（要因 1）
タイマー設定値が短かすぎる。
（要因 2） 後工程との通信が合っていません。
（復帰方法 1） “前後工程モード”タブで、“タイマー設定 （秒）”の“排出コンベア”の設
定値を大きくしてください。
（復帰方法 2）
当社サービスに連絡ください。
1305000 基板移載 タイムオーバー
供給側コンベアからの基板移載が所定時間内に終了しませんでした。
（要因 1）
コンベア速度が遅すぎる。
（要因 2） 基板検出センサ（B71）が反応しない
（復帰方法 1） L コンベアスピードコントロールのボリュームを上げてください。
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサ位置の調整もしくは交換が必要になります。当
社サービスに連絡ください。
1306000 基板移載 タイムオーバー
排出側コンベアへの基板移載が所定時間内に終了しませんでした。
（要因
1） 基板到達確認センサ（B44）が反応しない
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサ位置の調整もしくは交換が必要になります。当
社サービスに連絡ください。