4OM-1321-006_w.pdf - 第177页
2 - 43 Tg 1300 -ID-MT 2.2 異常表示からのトラブルシューティング 0607 - 002 Table 4B34 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 1321000 基板チャック 基板が外れました。 （要因 1）基板クランプ時に基板が外れてしまった。 （要因 2） 基板クランプ前進限センサ（B48）の不良です。 （復帰方法 1） 基板クランプ圧を調整してください。 “基板保持”タブの“基板クランプオ フセッ…
2-42
Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B33
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
1315000 テーブル部ストッパー インターロック
基板認識 X
軸が動作中でした。
1316000 テーブル部ストッパー インターロック
基板認識 Y
軸が動作中でした。
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
1317000 テーブル部ストッパー インターロック
テーブル上に基板があります。
（要因 1）
テーブル上に基板がある状態で、ストッパーが下降しようとした。
（手動動作実行時）
（要因 2） 基板確認センサ（B69）の不良です。
（復帰方法 1） 基板を取り除いてから再操作してください。
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
1318000 コンベアストッパー インターロック
排出側コンベアモーターが動作中でした。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
1319000 コンベアストッパー インターロック
排出側コンベア上に不適切な基板があります。
（要因 1）
排出側コンベア上に基板が残っています。
（要因 2） 基板到達確認、通過確認センサ（B44、B45）の不良です。
（復帰方法 1） 基板を取り除いてから再操作してください。
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
1320000 テーブル部ストッパー
基板ストッパーが正常に動作しませんでした。
（要因 1）
上限センサ（B70）の位置がずれています。
（要因 2） 上限センサの不良です。
（要因 3） ストッパーシリンダの動作不良です。
（復帰方法 1） センサ位置を再調整してください。
（別紙参照）
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 3）
当社サービスに連絡ください。
2-43
Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B34
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
1321000 基板チャック
基板が外れました。
（要因 1）基板クランプ時に基板が外れてしまった。
（要因
2） 基板クランプ前進限センサ（B48）の不良です。
（復帰方法 1） 基板クランプ圧を調整してください。“基板保持”タブの“基板クランプオ
フセット”で、“クランプ後上昇速度”の減速値を設定してください。
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
1323000 基板チャック
基板クランプ動作異常
手動操作で基板横クランプを動作させた場合に、一定時間内に基板クランプ前進限センサ
（B48）が ON
にならなかった。基板をテーブル部にセットした状態でこの手動動作をした
場合には、エラーが発生しても正常です。
（要因 1） 基板クランプ圧が低すぎる
（要因 2） 基板クランプ前進限センサの不良です。
（復帰方法 1） 基板クランプ圧を調整してください。
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
2-44
Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
(14 スキージヘッド ) Table 4B35
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
1401000 スキージ上下軸
テーブル Z
軸が印刷位置にありません。
（要因 1） テーブルが上昇していません。（手動動作実行時）
（復帰方法 1） テーブルを上昇後、再操作してください。
1402000 スキージ上下軸
スキージ上下シリンダー動作異常
（要因 1）
上限センサ（B60、B62）の位置がずれています。
（要因 2） 上限センサの不良です。
（要因 3） スキージシリンダの動作不良です。
（復帰方法 1）シリンダセンサ位置を調整ください。
（復帰方法 2）センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 3）
当社サービスに連絡ください。
1403000 印圧設定
前側のスキージの印圧が上限の設定範囲を超えました。
1404000 印圧設定
奥側のスキージの印圧が上限の設定範囲を超えました。
（要因 1）
フィードバックデータが壊れています。
（復帰方法 1） “印圧データ”タブで、 [ 印圧フィードバックデータクリア ] ボタンを押し
てください。
1405000 印圧設定
平常時の印圧が上限を超えています。
（要因 1）
ロードセルの出力値が異常です。
（復帰方法 1） スキージ上下シリンダー付近に異物がないか、スキージの取りつけが正しい
か確認ください。再発する場合には当社サービスへ連絡してください。
1406000 印圧設定
印刷時の印圧が設定値から大きく外れました。
（平均値）
（要因 1） 印刷中の印圧が大きく外れました。
（復帰方法 1） “運転方法設定”タブで“印圧異常設定”の“平均値”の設定値を確認して
いください。必要以上に厳しい設定がされている場合は値を大きくしてくだ
さい。（50N
を目安としてください）
ソルダペーストの投入量が多すぎないか確認してください。
上記確認をしても再発する場合は当社サービスに連絡してください。
1407000 印圧設定
前側のスキージの印圧が下限の設定範囲を超えました。
1408000 印圧設定
後側のスキージの印圧が下限の設定範囲を超えました。
（要因 1）
フィードバックデータが壊れています。
（復帰方法 1） “印圧データ”タブで、 [ 印圧フィードバックデータクリア ] ボタンを押し
てください。