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0607-002
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
(22 その他 ) Table 4B58
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
2201000 真空ポンプ
時間内に真空スイッチが入りませんでした。
（要因 1）
吸着治具を使用していない。
（要因 2） 真空もれ
（要因 3） 真空 SW の不良
（復帰方法 1） 吸着治具を使用していない場合は、パターンプログラムでバックアップ治具
を指定してください。
（復帰方法 2）
基板と吸着治具の間で真空もれが発生していないか確認してください。
（復帰方法 3） 真空 SW の設定不良もしくは真空 SW 本体の不良が考えられます。当社サービ
スに連絡ください。
2202000 真空ポンプ
クリーニング吸引側切替タイムオーバー OFF
（要因
1） 吸引切替えシリンダの動作不良もしくはシリンダセンサの不良が考えられます。
（復帰方法 1） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
2203000 真空ポンプ
チャック吸引側切替タイムオーバー OFF
（要因
1） 吸引切替えシリンダの動作不良もしくはシリンダセンサの不良が考えられます。
（復帰方法 1） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
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2006 年 2 月 初版発行
2010 年 4 月 第 6 版発行
編集および発行所
1004-006
Tg1300-ID-MT
不許複製
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