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2 - 15 Tg 1300 -ID-MT 2.2 異常表示からのトラブルシューティング 0607 - 002 2.2.3 異常 ID と復帰方法 (01 テーブル X 軸 ) Table 4B6 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 0101000 テーブル X 原点 時間内に原点復帰が終了しませんでした。 （要因 1）センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。 （要因 2）センサの不良です。 （要因 3）ドライバの不調…
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Tg1300-ID-MT
0602-001
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
2.2.2 異常 ID 管理区分
異常 ID の基本体系
異常 ID は、以下のように 7 桁（10 進数）で表示されます。
□□□□□□□
動作軸 / 処理異常 / 教示の大区分
異常 ID 管理区分
Table 4B5
異常 ID 動作軸 異常 ID 処理異常
01 テーブル X
軸 15 安全装置
02 テーブル Z
軸 16 自己診断
03 装着 Z
補正テーブルθ軸 17 材料切れ
04 スクリーン Y
軸 18 基板認識
05 スキージ駆動軸 19 スクリーン認識
06 基板認識カメラ
X
軸 20 クリーニング
07 基板認識カメラ Y
軸 21 操作ミス
08 スクリーン認識カメラ X
軸 22 その他
09 基板バックアップ軸
10 テーブルシュート幅
11 供給側コンベア
12 排出側コンベア
13 基板移載
14 スキージヘッド
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
2.2.3 異常 ID と復帰方法
(01 テーブル X 軸 ) Table 4B6
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0101000 テーブル X 原点
時間内に原点復帰が終了しませんでした。
（要因 1）センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因
2）センサの不良です。
（要因 3）ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1）センサの汚れを拭き取り、再度テーブル X の原点復帰をしてください。
（復帰方法 2）センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3）一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0102000 テーブル X 原点
脱調を検出しました。
（要因 1）過負荷によりモータが脱調しています。
（復帰方法
1）テーブル X 軸付近に障害物がないか確認してから、原点復帰を実行してくだ
さい。復帰しない場合には、当社サービスへ連絡してください。
0103000 テーブル X オーバ－ラン
プラス
( ＋ ) オーバーランを検出しました。
（要因 1）センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2）センサの不良です。
（要因 3）ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1）センサの汚れを拭き取り、再度 テーブル X の原点復帰をしてください。
（復帰方法 2）センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3）一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0105000 テーブル X サーボ
サーボアラーム信号が検出されました。
0108000
テーブル X サーボ
ドライバー過熱
（要因 1）装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法
1）全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
当社サービスに連絡してください。
0109000 テーブル X サーボ
時間内に動作が終了しませんでした。
（要因 1）ドライバの不調もしくは、ホスト
CPU との通信不良
（復帰方法 1）一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B7
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0110000 テーブル X インターロック
テーブル
Z 軸がセーフティエリアにありません。
（要因 1）テーブル Z 軸インターロックセンサ（B4D）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（復帰方法 1）センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2）一度、
装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
0111000 テーブル X インターロック
テーブル
Z 軸が原点にありません。
（要因 1）テーブル Z 軸原点センサ（B171）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（復帰方法 1）センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2）一度、
装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
0112000 テーブル X インターロック
基板ストッパーが降下しています。
（要因 1）
基板ストッパーが下降している状態で、テーブル X 軸を動作させようとしました。
（要因 2） 基板ストッパー上限（B68）の不良です。
（復帰方法 1）基板ストッパーを上昇させてから操作を再開してください。
（復帰方法 2） センサ位置を調整してください。復帰できない場合には、センサ交換が必要
ですので、当社サービスに連絡ください。
0113000 テーブル X インターロック
基板反り上押さえが下降しています。
（要因 1）基板反り押さえが下降した状態でテーブル
X 軸を動作させようとしました。
（復帰方法 1）基板反り押さえを上昇させてから操作を再開してください。
0114000 テーブル X インターロック
テーブル軸θ軸が搬送位置にありません。
（要因 1）動作タイミングがずれている可能性があります。
（復帰方法
1）電源再投入後、全原点復帰を実行してください。
0115000 テーブル X インターロック
テーブル
X 軸が供給側コンベアに接近しすぎています。
0116000 テーブル X インターロック
テーブル
X 軸が排出側コンベアに接近しすぎています。
（要因 1）テーブル部の位置合せ動作で移動量が大きすぎました。
（復帰方法 1）電源再投入後、全原点復帰を実行してください。