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1 - 13 Tg 1300 -ID-MT 3.1 全体図 クリーニング部 制御ボックス部 装置後面 Fig. 4A4 ブロアユニット(真空源) 装置上面 開閉扉部(後面) 開閉扉部(前面) Fig. 4A5 1004 - 003
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Tg1300-ID-MT
3. メンテナンスか所
3. メンテナンスか所
3.1 全体図
注 意
装置のカバーを外しての作業も含まれます。
メンテナンス終了後は、カバーを取付けてください。
スキージヘッド部
スクリーンホルダ部
基板認識部
Rコンベア部
(搬出コンベア部)
基板チャック部
テーブル部
Lコンベア部
(供給コンベア部)
装置前面
制御用コンピュータ部
エア源
Fig. 4A3
(a) 各部の詳細なメンテナンスか所およびメンテナンス方法につい
ては、“3.3”以降を参照してください。
(b) オプションについては、各特別仕様の取扱説明書を参照してメ
ンテナンスを行ってください。
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Tg1300-ID-MT
3.1 全体図
クリーニング部
制御ボックス部
装置後面
Fig. 4A4
ブロアユニット(真空源)
装置上面
開閉扉部(後面)
開閉扉部(前面)
Fig. 4A5
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Tg1300-ID-MT
0607-002
3.2 各部メンテナンスの見方
“3.3 点検、清掃、給油か所”の見方について説明します。
点検、清掃、給油か所の見方（表示例）
[1]
[2]
[3]
スキージ
毎日 清掃
工業用アルコール（溶剤）を
染み込ませたウエスなどで清掃
または工業用アルコール(溶剤)
で洗浄し、劣化したソルダぺー
ストを除去してください。
Fig. 4A6
[1] ： メンテナンスか所を表します。
[2] ： メンテナンスの周期と内容を表します。
[3] ： メンテナンス内容の詳細を表します。
3.2 各部メンテナンスの見方