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维修调整要领书 10 -6 吸气阀、排气阀的更换 1 ） 松开圆头螺钉 (M 3×5) ，按下并取下排气阀。 2 ） 擦干净泵头支架，更换新的排气阀。 3 ） 盖上排气阀按压件， 使用 0.8N ・ m 的力， 用涂抹了螺钉松动防止剂 （ Loctite 242 ） 的圆头螺钉 (M 3×5) 对泵头支架进行固定。 4 ） 松开固定吸气阀的圆头螺钉 (M 3×5) ，取下吸气阀和垫片。 5 ） 擦干净泵头支架， 更换新的吸气阀。 在…
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10-5
碗形密封垫圈、防止吸气阀碰触胶垫的更换
1） 取下 3 个（共 6 个）平头小螺丝(M4×8)，取下固定器、防止吸气阀碰触胶垫、碗形密封垫圈。
2） 将气缸与固定器之间异物清除干净。
3） 清扫之后的气缸设置在支柱上，将新碗形密封垫圈的中心与连杆安装碗形密封垫圈位置的中心对
齐，用手将气缸推入。
安装了新防止吸气阀碰触胶垫的固定器放置在碗形密封垫圈之上，使用涂抹了螺钉松动防止剂 (NK-4)
的平头小螺丝(M4×8)，用 3.0N・m 的力拧紧安装。
※ 请按照密封材料更换步骤实施盖子的安装。在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下参照个
部位的更换工程项目。
固定器
连杆
平头小螺钉
防止吸气阀
碰触胶垫
碗形密封垫
※ 注意朝向
固定器
平头小螺钉
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10-6
吸气阀、排气阀的更换
1） 松开圆头螺钉(M3×5) ，按下并取下排气阀。
2） 擦干净泵头支架，更换新的排气阀。
3） 盖上排气阀按压件，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉(M3×5)
对泵头支架进行固定。
4） 松开固定吸气阀的圆头螺钉(M3×5)，取下吸气阀和垫片。
5） 擦干净泵头支架，更换新的吸气阀。在将吸气孔、排气孔完全覆盖状态下，安装吸气阀、排气阀。
6） 放好垫片，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉(M3×5)对泵
头支架进行固定。
※ 请按照密封材料更换步骤实施盖子的安装。在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下参照个
部位的更换工程项目。
排气阀按压件
排气阀
吸气阀
垫片
泵头支架
涂抹在螺钉头纹路2～3圈。
螺钉前端处不要涂抹。
Loctite涂抹量
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10-7
真空泵分解图
No.
名称
No.
名称
1 支柱 10 O 环 S-67
2 泵头盖 11 密封材
3 泵头支架 12 排气阀按压件
4 碗形密封气缸 13 排气阀
5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫
6 固定器 15 O 环 P-10
7 碗形密封垫 16 内六角螺栓（M5×20）
8 吸气阀 17 平头小螺钉(M4×8)
9 连接管 18 圆头小螺钉(M3×5)