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维修调整要领书 11 -1 11 有关开关类 ・ 护罩 11 -1 . 按键开关的更换 ① 起动 SW ② 监视器变换 SW (背面操作装卸时) ③ 维护键 SW ④ 停止 SW 1 ) 开关的拆法是,请从护罩背面转动开关,向前面拉拔拆下(具体参看下图)。 2 ) 安装时请按相反操作顺序进行。 为了防止突然的起动造成事故,请关掉电源之后再进行操作。 危险 前侧 ① ② ③ ④ 后侧 ① ④ ② ※将锁定手柄朝箭头方向转动,解除锁定。 锁…

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维修调整要领书
10-7
真空泵分解图
No.
名称
No.
名称
1 支柱 10 O S-67
2 泵头盖 11 密封材
3 泵头支架 12 排气阀按压件
4 碗形密封气缸 13 排气阀
5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫
6 固定器 15 O P-10
7 碗形密封垫 16 内六角螺栓(M5×20
8 吸气阀 17 平头小螺钉(M4×8)
9 连接管 18 圆头小螺钉(M3×5)
维修调整要领书
11-1
11
有关开关类护罩
11-1
按键开关的更换
起动 SW
监视器变换 SW
(背面操作装卸时)
维护键 SW
停止 SW
1 开关的拆法是,请从护罩背面转动开关,向前面拉拔拆下(具体参看下图)。
2 安装时请按相反操作顺序进行。
为了防止突然的起动造成事故,请关掉电源之后再进行操作。
危险
前侧
后侧
※将锁定手柄朝箭头方向转动,解除锁定。
锁定手柄
TOP 标记位置
面板
固定部件
锁紧螺母
TOP 标记位置
触点部
维修调整要领书
11-2
11-2
紧急停止开关的更换
1 拆卸急停止开关,要先确操作部的按未被按下,再从护罩背侧把螺丝刀插入接点部的
手柄限器(黄色),向上抬起拆下。然后,将定手柄朝逆时针方向旋转,把接点部从操作部
分拆开。
2
连接卸下电缆,更换开关。
更换部位
货号
品名
每台数量
前侧 40136553 EMG SW(F) ASM 1
前侧(EN 规格机) 40137312 EM SW F CABLE ASM (EN) 1
40136553 EMG SW(R) ASM 1
后(EN 规格机) 40137313 EM SW R CABLE ASM (EN) 1
3 安装方法是,拆下锁定螺母,确认橡皮垫圈正常装配后,把操作装置从面板前面穿到面板孔里。
请让操作装置 TOP 刻印侧的 B 部(无螺纹部槽)位于正上面再紧固锁定螺母。
橡胶垫圈
B 部(无螺纹部槽)
TOP 标记
锁紧螺母
EN规格机时
请插入开关回转挡销
HA006260010)。
请放入橡皮垫圈与面板前面之间。
锁定手柄
安装
手柄限动器
锁定
手柄限动器
螺丝刀
拆下
操作部
触点装置
面板