JM-20_维修调整要领书.pdf - 第289页
维修调整要领书 A-3 货号 品名 用途 图 备考 40138973 CN ATC OFFSET BOSS C- ATC XY 偏差 JM -20 用 40137943 JIG NOZZLE CN 转动停止 JM -20 用 40138974 CN H JIG C- ATC 高度偏差 JM -20 用 40035041 WEIGHT 100G 用于控制负荷 用于确认负荷控制 40035042 WEIGHT 200G 用于控制负荷 用于确…

维修调整要领书
A-2
货号
品名
用途
图
备考
40107840 VCS HT
夹具 1
VCS
摄像机缩放
JX-200 共用
40107841 VCS HT
夹具 2
VCS 摄像机焦点
偏差
JX-200 共用
40148060 DFFP VCS
HT 夹具
DFFP VCS 摄像
机焦点偏差
DFFP VCS 用
40149057 DFFP VCS 摄
像机调节夹
具
DFFP VCS Z 校正
DFFP VCS 用
E21399980A0 VCS
夹具板
D 组
反射、BGA
光量粗调整
KE-2000 系列共用
E21419980A0 VCS
夹具板
B 组
VCS
摄像机缩放
标准 VCS 用
KE-2000 系列
KE-740/760 共用
E21449980A0 CSP
夹具板
B 组
VCS
摄像机缩放
选购品 VCS 用
KE-2000 系列
KE-740/760 共用
E6260705JA0 主供料器组
件
吸取基准位置偏
移量
与 TF 吸取位置调整用的
相同
E21329980A0 VCS
夹具板
A 组
VCS
对焦调整
标准 VCS 用
KE-2000 系列
KE-720/740/760 共用
E21369980A0 VCS
夹具板
C 组
VCS
对焦调整
选购品 VCS 用
KE-2000 系列
KE-740/760 共用

维修调整要领书
A-3
货号
品名
用途
图
备考
40138973
CN ATC
OFFSET BOSS
C-ATC XY 偏差
JM-20 用
40137943
JIG NOZZLE
CN
转动停止
JM-20 用
40138974
CN H JIG
C-ATC 高度偏差
JM-20 用
40035041 WEIGHT 100G 用于控制负荷
用于确认负荷控制
40035042 WEIGHT 200G 用于控制负荷
用于确认负荷控制
40089230
WEIGHT 500G 用于控制负荷
用于确认负荷控制
40069372 JUMPER JIG 用于调整 Z/θ
伺服放大器的旋
转开关
40075695 露点检测器组
件
确认直通式过滤
器的安装
40098187
磁力表架调整
块
夹具
KE3020/3020R 共用
40118830 Y 滚珠螺杆
调整夹具
滚珠螺杆调整用
夹具
KE3020V/3020VR 共用
40080491 ROD_SPANNER 装配安全护罩的
门开关钥匙

维修调整要领书
A-4
货号
品名
用途
图
备考
40175384 ASM_R-ATC_
OFFSET_PLATE
ATC 盘胶印
R-ATC 用