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维修调整要领书 3-3 3-2 ． HMS 的更换 3-2 -1 ． HMS 头部的更换 图 3 -2- 1-1 HM S 头部的更换 3-2 -2 ． 放大器的更换 将放大器推到下方后（ ① ），向左侧旋转（ ② ），从 HMS 放大器底座上拆下。 装配请按相反的步骤进行。 图 3 -2- 2-1 放大器部的更换 SM6032502TN （× 2 ） 内六角螺栓 M3 × 25 ① ②
维修调整要领书
3-2
3-1-2．
过滤器的更换
・贴装头过滤器的更换
1） 拆下下面照片上的①cap（×2），卸下过滤箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
2） 取出过滤器并进行更换。
3） 装配请按相反的步骤进行。
4） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
3-1-3．
大气开放用过滤器的更换
1） 拆下②带垫片内六角螺栓（×4），卸下贴装头护罩。
2）拆下③盆头螺钉（×3），卸下大气开放用过滤器，进行更换。
3） 装配请按相反的步骤进行。
※ ③盆头螺钉（3 个）是附属品。
①cap （×2）
贴装头过滤器
③ 盆头螺钉（×3）
② 带垫片内六角
螺栓（×4）
大气开放用过滤器
贴装头护罩
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3-3
3-2．
HMS 的更换
3-2-1．
HMS 头部的更换
图 3-2-1-1 HMS 头部的更换
3-2-2．
放大器的更换
将放大器推到下方后（①），向左侧旋转（②），从 HMS 放大器底座上拆下。
装配请按相反的步骤进行。
图 3-2-2-1 放大器部的更换
SM6032502TN（×2）
内六角螺栓 M3×25
①
②
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3-4
3-2-3．
贴标签
请把标签的粘贴部脱脂后，按图所示粘贴｡
图 3-2-3-1 贴标签（左：标签／右：标签粘贴后）
3-2-4．
HMS 高度调整
在 CAL 部上移动 HMS 传感器，传感器下面到 CAL 部上面的距离为 28mm 规格：100±0.2、55mm 规
格：140±0.2。请拧松 2 处的①带垫片内六角螺栓（各 2 个），调整到规定值。
此时，FAR 灯和 NEAR 灯均亮灯，请进行确认。调整后，用①带垫片内六角螺栓（各 2 个）进行固定。
图 3-2-4-1 HMS 高度调整
调整后，请输入 MS 参数，HMS 偏差值。输入请参照 MS 参数。
为了防止对人体的伤害，HOD 操作时请不要把手伸到装置内部，也不要把脸和
头靠近装置。
注意
CAL部上面
28mm规格
55mm规格
100±0.2
140±0.2
①
①
表示明灯 点灯状态
NEAR/FAR 两点灯： 测量中心距离±3.5mm
NEAR 点灯： 测量范围内近距离方面
FAR 点灯： 测量范围内近距离方面
NEAR/FAR 两亮灭： 测量范围外