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NPM-D LNB 3.5 实际信息表示 Page 3-24 EJM1DC-MB-03L-00 3.5 实际信息表示 参阅生产实际信息。 3.5.1 生产状况监视器 1 在菜单中选择 [ 实际信息表示 ] 的 [ 生产 状况监视器 ] 。 • 显示出生产状况监视器。 生产状况监视器由 c “ 作业管理部 ” 和 d “ 生产线状 况监视器部 ” 而构成。 关于显示内容和操作，请阅读下页以 后的解说。 3-1001 1 3-4001 1 …
NPM-D
LNB
3.4
元件核对履历
EJM1DC-MB-03L-00 Page 3-23
3.4.3
元件核对履历
CSV
导出
1
在元件核对履历画面上，按
[CSV
导出
]
。
•
将按照在显示方法所指定的条件而以
CSV
形式
导出。
∗
将会显示
Internet Explorer
的文件保存画面，
请对文件命名后保存。
2
以文本编辑程序等任意应用软件打开
所保存的文件。
∗
关于表中所显示各项目的详细说明，请参阅该
选购件功能的使用说明书。
3-5002
1
3-5004
NPM-D
LNB
3.5
实际信息表示
Page 3-24 EJM1DC-MB-03L-00
3.5
实际信息表示
参阅生产实际信息。
3.5.1
生产状况监视器
1
在菜单中选择
[
实际信息表示
]
的
[
生产
状况监视器
]
。
•
显示出生产状况监视器。
生产状况监视器由
c“
作业管理部
”
和
d“
生产线状
况监视器部
”
而构成。
关于显示内容和操作，请阅读下页以后的解说。
3-1001
1
3-4001
1
2
NPM-D
LNB
3.5
实际信息表示
EJM1DC-MB-03L-00 Page 3-25
A)
作业管理部
作业管理部显示下列信息。
信息
说明
期间
显示每个单位时间的开始时间及结束时间。
轨道
显示在相应期间内进行生产的轨道。
批量
显示在相应期间内进行生产的批量。
计划
(
累计
)
显示在相应期间内预定生产的基板累计枚数。
实际
(
累计
)
显示在相应期间内进行生产的基板累计枚数。
实际
(
单位时间
)
显示在相应期间内进行生产的基板的每个单位时间的生产枚数。
达成率
用百分率
(%)
显示相应期间的达成率
(
实际生产枚数
/
计划生产枚
数
)
。
B)
生产线状况监视器部
生产线状况监视器部实时显示基板的搬送状况。
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3-4003