PTS-NXT-08JE.pdf - 第351页

8.1. MCU--MODULE CHANGEOVER UNIT--………………………………………………… … 192 8.1. MCU--モジュール交換台車--……………………………………………… 192 8.2. PANEL STAND………………………………………………………………………… … 216 8.2. パネルスタンド…………………………………………………………… … 216 8.3. TRAY PALLET STAND……

100%1 / 877
ＣＯＮＴＥＮＴＳ 目次 
7. PARTS SUPPLY 7. 部品供給
7.1. DEVICE PALLET 7.1. デバイスパレット
7.1.1. M3S-DEVICE BASE…………………………………………………………
…
16 7.1.1. M3S-デバイス ベース……………………………………………
…
16
7.1.2. M3S-DEVICE PALLET………………………………………………………
…
22 7.1.2. M3S-デバイス パレット…………………………………………
…
22
7.1.3. M3S-DEVICE PALLET(PALLET WITH BUCKET)……………………………
…
28 7.1.3. M3S-デバイス パレット(バケット付きパレットタイプ)……
…
28
7.1.4. M3S-DEVICE PALLET GUIDE………………………………………………
…
34 7.1.4. M3S-デバイスパレットガイド…………………………………
…
34
7.1.5. M6S-DEVICE BASE…………………………………………………………
…
36 7.1.5. M6S-デバイスベース……………………………………………
…
36
7.1.6. M6S-DEVICE PALLET………………………………………………………
…
44 7.1.6. M6S-デバイス パレット…………………………………………
…
44
7.1.7. M6S-DEVICE PALLET(PALLET WITH BUCKET)……………………………
…
50 7.1.7. M6S-デバイス パレット(バケット付きパレットタイプ)……
…
50
7.1.8. M6S-DEVICE PALLET GUIDE………………………………………………
…
58 7.1.8. M6S-デバイスパレットガイド…………………………………
…
58
7.2. TRAY UNIT-L 7.2. トレイユニット-L
7.2.1. TRAY UNIT-L SHIFTER ……………………………………………………
…
60 7.2.1. トレイユニット-L シフタ部 …………………………………
…
60
7.2.2. TRAY UNIT-L TOWER ………………………………………………………
…
76 7.2.2. トレイユニット-L タワー部 …………………………………
…
76
7.2.3. TRAY UNIT-L COVER ………………………………………………………
…
102 7.2.3. トレイユニット-L カバー部 …………………………………
…
102
7.2.4. TRAY UNIT-L BODY ………………………………………………………
…
106 7.2.4. トレイユニット-L 本体部 ……………………………………
…
106
7.2.5. TRAY UNIT-L REJECT PARTS CONVEYOR …………………………………
…
116 7.2.5. トレイユニット-L NGパーツ排出ユニット部 ………………
…
116
7.2.6. TRAY UNIT-L TRAY PALLET ………………………………………………
…
120 7.2.6. トレイユニット-L トレイパレット部 ………………………
…
120
7.2.7. TRAY UNIT-L PNEUMATIC CIRCUIT DIAGRAM ……………………………
…
122 7.2.7. トレイユニット-L エアー配管図 ……………………………
…
122
7.2.8. TRAY UNIT-L REMOVER ……………………………………………………
…
126 7.2.8. トレイユニット-L リムーバ …………………………………
…
126
7.3. WASTE TAPE PROCESSING UNIT 7.3. 残テープ処理ユニット
7.3.1. M3S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT………………………………………
…
134 7.3.1. M3S-残テープ処理ユニット……………………………………
…
134
7.3.2. M3S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS………………………
…
138 7.3.2. M3S-残テープ処理ユニット ダクト……………………………
…
138
7.3.3. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT………………………………………
…
142 7.3.3. M6S-残テープ処理ユニット……………………………………
…
142
7.3.4. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS………………………
…
146 7.3.4. M6S-残テープ処理ユニット ダクト……………………………
…
146
7.3.5. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS(for TRAY UNIT)…
…
150 7.3.5. M6S-残テープ処理ユニット ダクト(トレイユニット用)……
…
150
7.3.6. WASTE TAPE BOX……………………………………………………………
…
154 7.3.6. 残テープボックス………………………………………………
…
154
7.4. TRAY UNIT-M…………………………………………………………………………
…
156 7.4. トレイユニット-M…………………………………………………………
…
156
8. ACCESSORIES 8. アクセサリ
8.1. MCU--MODULE CHANGEOVER UNIT--…………………………………………………
…
192 8.1. MCU--モジュール交換台車--……………………………………………… 192
8.2. PANEL STAND…………………………………………………………………………
…
216 8.2. パネルスタンド……………………………………………………………
…
216
8.3. TRAY PALLET STAND…………………………………………………………………
…
218 8.3. トレイパレットスタンド…………………………………………………
…
218
8.4. REJECT PARTS CONVEYOR 8.4. NGパーツ排出ユニット
8.4.1. REJECT PARTS CONVEYOR-M………………………………………………
…
220 8.4.1. NGパーツ排出ユニット-M………………………………………
…
220
8.4.2. REJECT PARTS CONVEYOR-L………………………………………………
…
226 8.4.2. NGパーツ排出ユニット-L………………………………………
…
226
8.5. MSU--MODULE STORAGE UNIT--………………………………………………………
…
232 8.5. MSU--モジュール置き台--………………………………………………… 232
8.6. PCU--PALLET CHANGE UNIT-- 8.6. PCU--デバイスパレット交換台車--
8.6.1. PCU…………………………………………………………………………
…
236 8.6.1. PCU…………………………………………………………………
…
236
8.6.2. PCU(PALLETS WITH BUCKET)………………………………………………
…
254 8.6.2. PCU(バケット付きパレット用)…………………………………
…
254
8.7. PSU--PALLET STORAGE UNIT-- 8.7. PSU--デバイスパレット置き台--
8.7.1. M3S-PSU……………………………………………………………………
…
270 8.7.1. M3S-PSU……………………………………………………………
…
270
8.7.2. M6S-PSU……………………………………………………………………
…
280 8.7.2. M6S-PSU……………………………………………………………
…
280
8.8. SPLICING TAPE STAND………………………………………………………………
…
290 8.8. スプライシングテープスタンド…………………………………………
…
290
9. OTHERS 9. その他
9.1. OTHERS…………………………………………………………………………………
…
294 9.1. その他 ……………………………………………………………………
…
294
Vacuum system
From module head
NEGATIVE PRESSURE
POSITIVE PRESSURE
For the Front
B ( )
A
( )
A:Clamp (lifter UP)
B:Unclamp (lifter DOWN)
8
6
B
A
Vacuum back-up pins
Reference from Front
Front
6
6
6
B
A
8
8
6
6
14
12
11
16
17
28 2710
9
4
4
515
32
25
26
1
3
6
15
8
7
14
13
2
18
AA
AA
4/
3/
10/
6/
2/
8/
7/
9/
11/
5/
BACK-UP PIN
B
A
2
1
2
1
10
12
17
16
11
13
17
15
14
21
20
19
26
25
29
28
29
27
3
3
7
8
9
18
22
23
24
30
32
33
34
36
35
37
45
UQ01445
6. CONVEYOR / コンベア 16 PTS-NXT-08JE