DECAN_S1_Administrator∏s_Guide(Chi_Ver1.4)_Web.pdf - 第368页

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Calibration & Setup
14-1
Machine Calibration
14. Machine Calibration
14.1. Head [F2]
指定的管理人员以外的用户变更设备的设定状态,会严重损伤设
备或受到伤害。
指定的管理人员以外,请勿任意改变设备的设定状态。
14.1.1. <Head> TAP对话框
<>命令表示及设定Head Assembly的状态。进行与Head相关的多种设置
选择此按钮时显示如下的对话框
14.1
系统设置
:
/
头数据
对话框
1: Grid
领域
<Grid> 领域
设置各磁头Head的部件识别高度。
<Head No>
表示Head的编号。