DECAN_S1_Administrator∏s_Guide(Chi_Ver1.4)_Web.pdf - 第445页
14-77 Machine Calibration 14.3.8.11. Beam Offset Calibration 该校准作业测量基准相机 (Fiducial Camera) 中 心与悬臂的 Beam Sensor 之间的距离。 需要测量 Beam Offset 时， 先 在系统菜单的 <He ad> 选项卡选择需要使用的 Beam Sensor 。 下面是 Beam Offset 的校准过程 。 1. 点击 <…
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4. 正常结束对所有磁头的校正，则显示如下结果值。如下图显示结果值。
结果值在System Setup菜单的R Axis对话框中可以确认。
备 注 R-Axis Offset的校正基准值如下。
Real Max(Min): 命令值与测定值之间的最大（最小）误差
Head1~Head6 : -0.5 ~ 0.5 (deg)
Err Max(Min) : 测定值与补偿值之间的最大（最小）误差
Head1~Head6 : -0.2 ~ 0.2 (deg)
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Machine Calibration
14.3.8.11. Beam Offset Calibration
该校准作业测量基准相机 (Fiducial Camera)中心与悬臂的Beam Sensor之间的距离。
需要测量Beam Offset时，先在系统菜单的<Head>选项卡选择需要使用的 Beam
Sensor。
下面是Beam Offset的校准过程。
1. 点击<17. Beam Offset>键，实行Beam Offset对话框。
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
2. 选择需要校准的悬臂。
3. 示教工具选择Fid Cam1(或Fid Cam2)后，利用示教框(jog box)把X-Y轴移动到
可以识别位置的领域(可以利用SMVision判别的地点)。
4. 点击<Get>键，把当前位置保存到<Teaching Position>。
5. 示教工具选择Beam1(或Beam2)，然后利用示教框(jog box)移动到<Teaching
Position>位置。
6. 点击<Get>键，把当前位置保存到<Beam Position>。
7. 点击<Update>键保存设定值。
结果值可以在System Setup菜单的Head Offset对话框查看。