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2-40 2 7. 3 CUSTO M 조명 검사 대 상 물 을 판정 할 조 명타 입 은 보 통 「화 상 리 스 트 」에서 선 택 합니다만 , 화 상리스 트 의 조 명 타입 으 로 판별 할 수 없 을 경우는 , 「 CS U T OM 」조명 기 능 으 로 해 당 스 탭전 용의 조명 을 설 정 합니다 . 검 출조 건 파라미터 「B. 조명 타 입」에서 「C SU T OM 」을 선택 하 고 , 조명 상…

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옵션 파라미터
참고
표시되는 파라미터는 , 검사 스테이터스에 따라 다릅니다 .
옵션 파라미터
검사 스테이터스「전극 체크」의 예
28246-P9-00
항목 내용
A
OKJump 판정결과가「OK」일경우 ,그다음에검사할스탭번호를지정합니다 .
B
NGJump 판정결과가「NG」일경우 ,그다음에검사할스탭번호를지정합니다 .
E
NG 이유
자동검사에서NG 로판정되었을때에표시됩니다 .
최대문자수 : 반각14 문자이내 ,전각7 문자이내
F
로컬피듀셜번호 로컬피듀셜번호를표시하거나입력합니다 .
G
로컬배드마크번호 로컬배드마크번호를표시하거나입력합니다 .
K
마스크타입
무효: 검사마스크처리를실행하지않습니다 .
검사대상: 직사각형으로둘러싼영역을항상검출합니다 .(「9 레벨」로빨갛게됩니다 .)
검사대상외: 직사각형으로둘러싼영역을검사대상에포함하지않습니다 .
L
마스크중심옵셋 X(mm) 스탭중심위치에서마스크중심위치까지의X 옵셋량을설정합니다 .
M
마스크중심옵셋 Y(mm) 스탭중심위치에서마스크중심위치까지의Y 옵셋량을설정합니다 .
N
마스크사이즈 X(mm) 검사마스크의X 방향의사이즈를설정합니다 .
O
마스크사이즈 Y(mm) 검사마스크의Y 방향의사이즈를설정하니다 .
참고
「OK Jump」,「NG Jump」를 사용하지 않을 경우나 검사결과가 조건에 맞지 않을 경우는 , 그 다음 스탭 번호의 검사를
실행합니다 .
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7.3 CUSTOM 조명
검사 대상물을 판정할 조명타입은 보통「화상리스트」에서 선택합니다만 , 화상리스트의 조명 타입으로 판별
할 수 없을 경우는 ,「CSUTOM」조명 기능으로 해당 스탭전용의 조명을 설정합니다 .
검출조건 파라미터「B. 조명타입」에서「CSUTOM」을 선택하고 , 조명상세 파라미터를 설정해 주십시오 .
조명상세 파라미터
조명추출 타입「휘도」의 예
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1. 조명추출 타입
휘도 : 지정한휘도의부분을추출해서검사대상으로합니다 .
색도 : 지정한색도의부분을추출해서검사대상으로합니다 .
형상도 : 지정한색성분의부분을추출해서검사대상으로합니다 .
2. [ 빛추출 ] 버튼
검사에사용할조명화상을2 장선택합니다 .
3. [ 빛제외 ] 버튼
필요에따라서 ,검사에사용할화상에대해화상연산 ( 제외 ) 을실행할조명화상을1 장선택합니다 .
4. 필터
노이즈를삭제할때사용합니다 .평균화할사이즈를선택해주십시오 .
5. 빛제외 배율
화상연산처리를실행할때선택한빛제외배율입니다 .
6. 샘플링 사이즈
샘플링추출할사이즈를선택합니다 .
7. 샘플링 타입
검출할점을「추출」할것인지 ,「제외」할것인지를설정합니다 .
8. [ 샘플링 ] 버튼
버튼을눌러서화면을클릭하면 ,클릭한부위의값 ( 휘도 / 색도 / 형상도 ) 을그래프에표시합니다 .
9. [ 클리어 ] 버튼
추출한최신데이터를1 개클리어합니다 .
10. [ 전체클리어 ] 버튼
추출한데이터를전부클리어합니다 .
11. [ 적정값 검색 ] 버튼
조명추출타입이「휘도」이며 ,추출을실행한후에[ 적정값검색 ] 버튼을누르면조명과경계값을자동으로설정합니다 .
12. 차트
추출한값을표시합니다 .
•
빨간포인트 : 추출한값
•
파란포인트 : 제외한값
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1
조명추출 타입을 설정합니다 .
검사를실행할때의조명추출타입을휘도 / 색도 / 형상도에서선택합니다 .
2
빛추출을 선택합니다 .
[ 빛추출 ] 버튼을눌러서빛추출대화창을열고 ,검출하고싶은부분이하얗고확실한화상을선택해주
십시오 .2 개까지선택가능합니다 .
3
필요에 따라서 빛제외를 선택합니다 .
빛제외를선택할경우는 ,[ 빛제외 ] 버튼을눌러서빛제외대화창을열고 ,제외하고싶은부분이하얗고
확실한화상을1 개선택해주십시오 .( 빛제외는 ,선택하지않아도문제없습니다 .)
화상선택
빛추출 대화창의 예
화상을 선택한다
조명
성분
28248-P9-00
4
샘플링할 부위를 추출합니다 .
1. [ 샘플링 ] 버튼을누릅니다 .
2. 추출확인대화창이표시되므로 ,[ 예 ] 버튼을누릅니다 .
3. 샘플링타입의[ 추출 ]라디오버튼을클릭합니다 .
4. 화면상의티칭하고싶은부위를클릭해주십시오 .그래프에빨간점이표시됩니다 .
참고
추출할 필요가 없는 부분을 추출했을 경우는 , [ 클리어 ] 버튼을 눌러서 삭제해 주십시오 .
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제외할 부위를 티칭합니다 .
1. 샘플링타입의[ 제외 ]라디오버튼을클릭합니다 .
2. 화면상의제외하고싶은부위를클릭해주십시오 .그래프에파란점이표시됩니다 .
3. [ 샘플링 ] 버튼을눌러서종료합니다 .