YSi_Prog_K.pdf - 第46页

1-1 1 1 1. 5 자 동검 사 화면 기 판의 자 동검사 를 실행 할 때 에 , [ 자 동검 사 ] 버튼을 누 릅니다 . 여 기 에서 는 , 자 동검사 화면 에 대해서 설 명 합니 다 . 1 . 5 .1 「 검 사 」화 면 이 화면 에서 는 , 자 동검사의 실 행 과 정지 를 합니 다 . 또 , 검사에서 NG 로 판정 된 정 보 도 표시 됩니 다 . [자동검사] ー 「검사」화면 2 3 4…

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[검사 데이터] -「스탭」화면
각 파라미터 화면
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기본 검출조건
조명상세
판정조건
옵션
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파라미터 버튼명 내용
1
기본
등록 선택한스탭을라이브러리에등록합니다 .
2
전개 등록한라이브러리를검사데이터에붙여넣기합니다 .
3
상세 선택한라이브러리의상세내용을표시합니다 .
4
검출조건
기준면적 버튼을누르면 ,「A. 기준면적」에스탭내의픽셀수가입력됩니다 .
5
화상리스트 선택된스탭의각조명으로촬상된화상리스트를표시합니다 .
6
자동계측
검사스테이터스가「로컬피듀셜」일때 ,유효합니다 .
사용방법은기판피듀셜의설정과같습니다 .
7
조명상세
빛추출 검사에사용할조명화상을선택합니다 .2 개까지선택가능합니다 .
8
빛제외 검사에사용할조명화상에대해서화상환산 ( 제외 ) 을실행할경우에선택합니다 .
9
추출
화면상에서클릭한부분의값을그래프상에포인트로표시합니다 .
검출하는값은조명추출타입에의해바뀝니다 .
•
조명검출타입이휘도일경우는휘도
•
조명검출타입이형상도일경우는형상도
•
조명검출타입이색도일경우는색도
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클리어 제일마지막에추출한포인트데이터를1 개클리어합니다 .
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전체클리어 추출한모든포이트데이터를클리어합니다 .
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적정값검색 추출한포인트데이터의검사에최적한조명과경계값을설정합니다 .
13
판정조건 전체세팅 허용옵셋량을변경한후에 ,버튼을누르면다른방향에도옵셋량을설정합니다 .
14
옵션 마스크티칭
마스크영역을티칭하거나 ,편집합니다 .
마스크타입이「무효」일경우는사용할수없습니다 .
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1.5 자동검사 화면
기판의 자동검사를 실행할 때에 , [ 자동검사 ] 버튼을 누릅니다 .
여기에서는 , 자동검사 화면에 대해서 설명합니다 .
1.5.1 「 검 사 」화 면
이 화면에서는 , 자동검사의 실행과 정지를 합니다 . 또 , 검사에서 NG 로 판정된 정보도 표시됩니다 .
[자동검사] ー「검사」화면
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항목 / 버튼명 기능
1
판정모드 「장비설정」-「서버설정」화면의「판정모드」에서의설정이표시됩니다 .
2
결과표시타입
결과상세리스트에표시할검사결과를선택 / 표시합니다 .
드롭다운리스트로부터표시타입을선택해주십시오 .
3
결과상세 결과표시타입에서지정한검사결과의검사스탭을표시합니다 .
4
OK 부품수 검사결과가OK 로판정된부품수가표시됩니다 .
5
NG 부품수 검사결과가NG 로판정된부품수가표시됩니다 .
6
화상리스트
검사데이터에저장되어있는화상을선택합니다 .
[ 화상리스트 ] 버튼을누르면「화상전환」화면이표시되므로 ,화상을선택하고 ,
[ 선택 ] 버튼을눌러주십시오 .
7
반송후정지 기판검사후 ,기판을반출구까지반송하고정지합니다 .
8
실행 검사를실행합니다 .
9
중지 검사를중지합니다 .검사실행중에만표시됩니다 .
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1.5.2 「전체」화면
이 화면은 , 현재 검사중인 기판의 수량과 검사상태를 실시간으로 표시합니다 .
검사데이터를 전환하면 , 데이터가 리세트됩니다 .
표시되는 항목의 우측에 있는 [ 표시전환 ] 버튼을 누르면 , 표시내용을 전환시킬 수 있습니다 .
[자동검사] - 「전체」화면
[표시전환] 버튼
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항목 / 버튼명 단위 내용
생산시작시각 현재검사중인검사데이터를선택했을때의시각이표시됩니다 .
현재시각 현재시각 ( 장비내의시스템시계의일시 ) 이표시됩니다 .
표시전환 항목의표시를전환합니다 .
검사수량 장
현재검사중인검사데이터로전환한후의검사완료수량입니다 .
도중에중지한검사수량은카운트되지않습니다 .
총검사수량 장 검사기어플리케이션이기동한후의총검사수량입니다 .
사이클타임
초/장 기판1 장당의평균검사시간 ( 초 / 부품 )
초 / 스탭 스탭1 개당의평균검사시간 ( 초 / 스탭 )
초 / 부품 부품1 개당의평균검사시간 ( 초 / 부품 )
불량율 % 불량수량÷검사수량 X100(%) 의값입니다 .
부품불량율 % Ref 별NG 수÷전체Ref 수 ( 부품점수 )X100(%) 의값입니다 .
총불량율 % 총불량수÷총검사수 X100(%) 의값입니다 .
과판정율 % OK 연속횟수÷검사수 X100(%) 의값입니다 .
불량수 스탭 현재검사중인검사데이터로전환한후의불량수 ( 스탭 ) 를표시합니다 .
총불량수 스탭 검사기어플리케이션이기동한후의총불량수입니다 .
가동율
(OperationgRate)
%/ 로트 평균검사시간 X( 검사수량 )/ 검사기의누적검사시간의값입니다 .
가동율
(WorkingRate)
%/ 로트
평균검사시간 X( 검사수량 )/( 검사기의누적검사시간 - 기판대기시간 - 기판반출
대기시간 ) 의값입니다 .