YSi_Prog_K.pdf - 第45页
1-10 1 [검사 데이터] -「스탭」화면 각 파라미터 화면 4 5 6 1 2 3 9 10 11 8 7 12 13 기본 검출조건 조명상세 판정조건 옵션 14 28 1 08-P9-00 파라 미터 버튼명 내용 1 기본 등록 선 택한스탭 을라이브러 리 에등록합니다 . 2 전개 등록한라이브러 리 를검사데 이 터에붙여 넣기 합니다 . 3 상세 선 택 한라이브러 리의상 세내 용을표시합…
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1
항목 / 버튼명 기능
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계측 뷰화상상의거리를계측합니다 .
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스탭표시 스탭화면의스탭테두리를표시 / 비표시로전환합니다 .
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9 레벨 스탭화상을컬러로표시합니다 .
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검사화상 검사조명으로촬상한화상을스탭위치에표시합니다 .
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화상리스트 NG 화상등의화상리스트로부터표시시킬화상을선택합니다 .
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x.xxmm
버튼을누르면 ,스크롤바의화살표를눌렀을때의카메라이동피치를변경합니다 .
(0.01mm,0.100mm,0.500mm,5.000mm)
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일괄치환 조건에맞는스탭의파라미터를일괄로치환합니다 .
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보조편집 스탭의복사 ,핀번호추가 ,정열 ,핀정보전개를실행합니다 .
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검색 스탭을검색합니다 .
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LIB 미부착 라이브러리가미부착상태인스탭을표시합니다 .
1-10
1
[검사 데이터] -「스탭」화면
각 파라미터 화면
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기본 검출조건
조명상세
판정조건
옵션
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28108-P9-00
파라미터 버튼명 내용
1
기본
등록 선택한스탭을라이브러리에등록합니다 .
2
전개 등록한라이브러리를검사데이터에붙여넣기합니다 .
3
상세 선택한라이브러리의상세내용을표시합니다 .
4
검출조건
기준면적 버튼을누르면 ,「A. 기준면적」에스탭내의픽셀수가입력됩니다 .
5
화상리스트 선택된스탭의각조명으로촬상된화상리스트를표시합니다 .
6
자동계측
검사스테이터스가「로컬피듀셜」일때 ,유효합니다 .
사용방법은기판피듀셜의설정과같습니다 .
7
조명상세
빛추출 검사에사용할조명화상을선택합니다 .2 개까지선택가능합니다 .
8
빛제외 검사에사용할조명화상에대해서화상환산 ( 제외 ) 을실행할경우에선택합니다 .
9
추출
화면상에서클릭한부분의값을그래프상에포인트로표시합니다 .
검출하는값은조명추출타입에의해바뀝니다 .
•
조명검출타입이휘도일경우는휘도
•
조명검출타입이형상도일경우는형상도
•
조명검출타입이색도일경우는색도
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클리어 제일마지막에추출한포인트데이터를1 개클리어합니다 .
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전체클리어 추출한모든포이트데이터를클리어합니다 .
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적정값검색 추출한포인트데이터의검사에최적한조명과경계값을설정합니다 .
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판정조건 전체세팅 허용옵셋량을변경한후에 ,버튼을누르면다른방향에도옵셋량을설정합니다 .
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옵션 마스크티칭
마스크영역을티칭하거나 ,편집합니다 .
마스크타입이「무효」일경우는사용할수없습니다 .
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1
1.5 자동검사 화면
기판의 자동검사를 실행할 때에 , [ 자동검사 ] 버튼을 누릅니다 .
여기에서는 , 자동검사 화면에 대해서 설명합니다 .
1.5.1 「 검 사 」화 면
이 화면에서는 , 자동검사의 실행과 정지를 합니다 . 또 , 검사에서 NG 로 판정된 정보도 표시됩니다 .
[자동검사] ー「검사」화면
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28109-P9-00
항목 / 버튼명 기능
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판정모드 「장비설정」-「서버설정」화면의「판정모드」에서의설정이표시됩니다 .
2
결과표시타입
결과상세리스트에표시할검사결과를선택 / 표시합니다 .
드롭다운리스트로부터표시타입을선택해주십시오 .
3
결과상세 결과표시타입에서지정한검사결과의검사스탭을표시합니다 .
4
OK 부품수 검사결과가OK 로판정된부품수가표시됩니다 .
5
NG 부품수 검사결과가NG 로판정된부품수가표시됩니다 .
6
화상리스트
검사데이터에저장되어있는화상을선택합니다 .
[ 화상리스트 ] 버튼을누르면「화상전환」화면이표시되므로 ,화상을선택하고 ,
[ 선택 ] 버튼을눌러주십시오 .
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반송후정지 기판검사후 ,기판을반출구까지반송하고정지합니다 .
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실행 검사를실행합니다 .
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중지 검사를중지합니다 .검사실행중에만표시됩니다 .