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2-77 2 3 판 정조건 파라미터를 설정합니다 . 「판정조 건」 탭화 면 을열 어 서 ,다음의파라미 터 를설 정 해주십 시 오 . 검사조건 파라미터 검사 스테이터스:위치보정 28292-P9-00 E~H. 위치보정 리 미트 N ~W(mm )  위 치 보 정리 미 트의양을입 력 합니 다 .  검 출위 치 ( 어 긋난량 ) 가리 미 트 를초과 한경 우는보 정 하 지않…

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8.10 치 보
이 검사 스테스는 , 일반적인 기판 피셜에 의한 위치 보정에 덧여서, 검사치의 보정을 실합니다.
품 본체의 탑재위치가 어긋난량 만 , 그 스탭에서 지한 검사스탭 위치를 보정합니 . 또 , 기준마크
위치가 어긋난량 만 , 지정한 스탭의 검사스탭 위를 보정할 수도 있습니다 .
1
스탭을 설정합니다 .
1. 스탭범를작합니 .
2. 사스테「위치보으로설정 .
3. 경계을설정합니다 .
참고
스탭 범위의 작성과 경계값의 설정에 관해서는 , 본 장「7.1 스탭 설정의 기순서」를 참조해 주십시오 .
검사 스테이터스
위치보정
「위치보정」으로 설정
28290-P9-00
2
검사조건 파라미터를 설정합니다 .
「검사조건」파라미터화면을열어서 ,다의파라미터를설정해주십 .
검출조건 파라미터
검사 스테이터스:위치보정
28291-P9-00
A. 기준면적 (mm
2
)
[ 준면 ] 버튼을누 ,작성한스탭범위의면이자동으로설 .
C, D. 최소 검출사이즈 (mm)
사대상물의최소사이를설합니 .이값은Step6 에서설는[ ] 튼을누르면 ,
자동으로설므로 ,처음에는설할필요없습니 .
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3
정조건 파라미터를 설정합니다 .
「판정조건」탭화을열 ,다음의파라미를설해주십 .
검사조건 파라미터
검사 스테이터스:위치보정
28292-P9-00
E~H. 위치보정 리미트 N~W(mm)
정리트의양을입합니 .
출위 ( 긋난량 ) 가리를초과한경우는보지않습 .
으로하지않는방향은 ,「SKIP으로해주십시 .
L. 면적 (%)
적규격의최소면적을설정합니다 .( 참고 10%)
M. (%)
면적의최을설합니 .( 200%)
4
션 파라미터를 설정합니다 .
옵션」탭화을열 ,다음의파라미를설해주십 .
옵션 파라미터
검사 스테이터스:위치보정
28293-P9-00
C. 정시작 스탭
을실할최초의스탭를설정합니 .
D. 정종료 스탭
을실할마막스탭를설합니 .
5
스탭 테스트를 실행합니다 .
1. [ 스탭 ] 튼을눌러 ,작한스의테스트를실해주십 .
2. 를확인한후 ,[ ] 튼을누릅 .
6
[ 결과 ] 버튼을 누니다 .
「검결과화면이표시므로 ,[ ] 튼을눌러서자동계산을실합니 .
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재차 , 스탭 테트를 실행합니다 .
1. [ 스탭 ] 튼을눌러 ,작한스의테스트를실해주십 .
2. 출데를확인한후 ,[ ] 튼을누릅 .
ThresholdNo. : 검사한경계값의번 .
dx=,dy= : 스탭범위와검출영역중심의틀어 .
Area= : 출면의기준면에대한% .
참고
dx, dy 「0인 경우는 , 보정 리미트의 초과 등의 이유로 보정되지 않습니다 .
3. 스트결에따라 ,「검출조「판정조건」파라미터를재검토해주십 .