YSi_Prog_K.pdf - 第58页

1-23 1 1 . 7. 3 서 버 설정 「장비설 정 」 화면의 [ 서버설 정 ] 버튼을 누르 면 , 판정 모 드의 설정 이 나 서 버경 로의 설정 을 실 행 할 수 있습 니다 . 「서버설정」화면 1 2 3 2 812 0 - P 9 - 0 0 1 . 옵 션 소 프 트웨 어 설정 옵션소 프트웨 어 를설 정 합니 다 . •  판 정모 드  사용할판정모드 를선 택 합니 다 .  단독 …

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1
█
2 색판의 좌표등록 방법
1
[ 좌표등록 ] 버튼을 누릅니다 .
「조명조도진단」화면의[ 좌표등록 ] 버튼을누르면 ,「티칭 / 트레이스」화면이표시됩니다 .
「티칭/트레이스」화면
Step 2
Step 3 Step 4
28118-P9-00
2
화면중앙에 2 색판이 표시되도록 카메라를 이동시킵니다 .
커서를이동해서 ,2 색판이화면의중앙에표시되도록카메라를이동시켜주십시오 .
3
[ 좌표등록 ] 버튼을 누릅니다 .
[ 좌표등록 ] 버튼을누르면 ,2 색판의좌표가등록됩니다 .
4
[ 닫기 ] 버튼을 누릅니다 .
[ 닫기 ] 버튼을누르면 ,「광량측정」화면으로되돌아갑니다 .
█
광량측정 순서
광량측정을실행하고 ,결과가기준값에서벗어나있는경우에는 ,조명교정작업을실시해주십시오 .
조명교정을실행하기전에 ,확산판과2 색판에더러움이나이물질등이있는지확인한후 ,웨이퍼등으로닦아주십시오 .
1
[ 광량측정 ] 버튼을 누릅니다 .
2
[ 예 ] 버튼을 누릅니다 .
각각의조명에대해자동으로광량을측정하고 ,측정결과를표시합니다 .
「광량측정」화면
28119-P9 - 00
참고
조정 소프트로 교정작업을 실행하기 위해서는 , 별도로 기준 플레이트가 필요하며 , 작업순서에 관한 트레이닝을 받으셔야 합
니다 .
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1
1.7.3 서버 설정
「장비설정」화면의 [ 서버설정 ] 버튼을 누르면 , 판정모드의 설정이나 서버경로의 설정을 실행할 수 있습니다 .
「서버설정」화면
1
2
3
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1. 옵션 소프트웨어 설정
옵션소프트웨어를설정합니다 .
•
판정모드
사용할판정모드를선택합니다 .
　단독판정 : 옵션소프트웨어는사용하지않고 ,검사기에서만판정합니다 .
　집중판정 : 리모트판정스테이션에서최종판정합니다 .
　리페어스테이션 : 리페어스테이션에NG 정보를송신해서 ,리페어스테이션에서최종판정합니다 .
•
송신조건
상기의판정모드에서리페어스테이션으로설정했을경우에 ,선택가능합니다 .
　전부 : 검사결과에관계없이검사데이터를전부송신합니다 .
　OK 만 : 검사결과가「OK」일경우에 ,검사데이터를송신합니다 .
　NG 만 : 검사결과가「NG」일경우에 ,검사데이터를송신합니다 .
•
송신NG 화상
리모트판정스테이션과리페어스테이션에송신할NG 화상의선택을합니다 .
　표준화상 : 검사화상만
　비교화상 : 검사화상과좌측에표준화상
　양측화상 : 표준화상과비교화상
　NG 화상만 :NG 화상만
•
송신전체화상
현재미대응상태입니다 .
•
집중판정시의리페어스테이션
현재미대응상태입니다 .
•
통신설정의통지
현재미대응상태입니다 .
•
에러의통지
현재미대응상태입니다 .
•
로컬경로 / 집중판정경로 / 리페어스테이션경로 (「판정모드」에의해표시가바뀝니다 .)
옵션소프트웨어가인스톨된컴퓨터의폴더를 ,[ 찾아보기 ] 버튼을눌러서지정합니다 .
예 ) 로컬경로 : 불필요
집중판정경로 :D:
₩
C2system
₩
lines
₩
VRtr01-1.tdt
리페어스테이션경로 :D:
₩
RStation
₩
RSDada
₩
RPST.tdt
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1
2. 검사 프로그램 서버 관리
서버경로유효 : 검사데이터를검사기폴더이외의장소에저장할경우에체크합니다 .
[ 찾아보기 ] 버튼 : 검사데이터의저장장소를지정합니다 .
3. 라이브러리 서버 관리
서버경로유효 : 라이브러리를검사기폴더이외의장소에저장할경우에체크합니다 .
[ 찾아보기 ] 버튼 : 라이브러리의저장장소를지정합니다 .
1.7.4 기판 ID 설정
「장비설정」화면의 [ 기판 ID] 버튼을 누르면 ,「기판 ID」화면이 열립니다 .
이 화면에서는 , 리페어 스테이션 ( 옵션 ) 에 검사결과를 송신할 때의 기판 ID 를 설정하거나, 마킹 유니트 ( 옵
션 ) 에서 기판에 마킹할 기판 ID 를 설정합니다 .
1
기판 ID 로 설정할 항목에 체크합니다 .
「기판 ID」화면에서기판 ID 로설정할항목에체크합니다 .리페어스테이션 ID 와마킹 ID 는각각의항
목에서설정해주십시오 .
「기판ID」화면
Step 2
Step 1
28121-P9-00
•
A. 날짜
검사한날짜를ID 로서설정합니다 .날짜의포맷을「내용」란에서선택해주십시오 .
•
B. 시각
검사를시작한시각을ID 로서설정합니다 .시각의포맷을「내용」란에서선택해주십시오 .
•
C. 라인 ID
검사한라인 ID 를ID 로서설정합니다 .라인 ID 룰「내용」란에입력해주십시오 .
•
D. ASSY 명
ASSY 명을ID 로서설정합니다 .「검사데이터」-「기판」탭화면의ASSY 명을입력해주십시오 .
•
E. 총 검사수량
검사한총수량을ID 로서설정합니다 .
•
F. NG 기판 수량
검사결과가NG 된기판수량을ID 로서설정합니다 .
•
G. NG 블록 수량
검사결과가NG 된블록수를ID 로서설정합니다 .
n
요점
총 검사수량 , NG 기판 수량 , NG 블록 수량을 초기화 하려면 ,「시스템 설정」의「검사데이터 로딩시 생산수량을 초기화한다」
에 체크하고 , 검사데이터를 선택 ( 읽기 ) 해 주십시오 .
2
기판 ID 를 확인해 주십시오 .
설정한리페어스테이션 ID 와마킹 ID 가표시되므로 ,확인해주십시오 .