SM431 Maintenance Handbook (Chi Ver2).pdf - 第34页
SM431 Maintenance Handbook 34 Chap ter 3 Fast & Flexible Chip Shooter 容器锁定按钮 Filter Element 团 Filter E lement 日 常 检 验 目 录 4. 拆卸仪器 液晶画 面下 方的连 接器电线 。 5. 下拉 Ai r P an el 的 空气过滤 器锁定 按钮 后，向 顺时针方 向进行 旋转 分离容 器。 6. 按逆时针 方向旋 …
Chapter 3
日常检验目录
SM431 Maintenance Handbook
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Chapter 3
Fast & Flexible Chip Shooter
Air Filter
确认变色
仪器液晶画面
1
2
日常检验目录
扳手
清除空气中的灰尘，使用空压时防止因杂物等原因发生故障
1. 按OP面板的‘EMG’按钮停止作业后，依次按’STOP’, ‘RESET’按钮。
详细内容请参考’紧急停止（8页）’
2. 切断供应到设备的Main空压
3. 打开设备背面右侧下端的门，确认仪器液晶画面的空压是否处于’0’
空气过滤网的检查及更换
维修项目 措施
警告
Air Filter 或Mist Separator Filter更换时如果不切断空压进行作业，
会有受伤的危险。请务必在切断空压的情况下进行操作。
SM431 Maintenance Handbook
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Chapter 3
Fast & Flexible Chip Shooter
容器锁定按钮
Filter Element 团
Filter Element
日常检验目录
4. 拆卸仪器液晶画面下方的连接器电线。
5. 下拉Air Panel的空气过滤器锁定按钮后，向顺时针方向进行旋转分离容器。
6. 按逆时针方向旋转Filter Element团进行分离
7. 在Filter Element 团中更换Filter Element
8. 按拆卸的逆序进行组装
9. 参考“解除紧急停止（14页）”解除紧急停止后重新进行作业
Chapter 3
日常检验目录
SM431 Maintenance Handbook
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Chapter 3
Fast & Flexible Chip Shooter
Air Filter
确认变色
仪器液晶画面
1
2
日常检验目录
扳手
清除空气中的灰尘，使用空压时防止因杂物等原因发生故障
1. 按OP面板的‘EMG’按钮停止作业后，依次按’STOP’, ‘RESET’按钮。
详细内容请参考’紧急停止（8页）’
2. 切断供应到设备的Main空压
3. 打开设备背面右侧下端的门，确认仪器液晶画面的空压是否处于’0’
Mist Seperator Filter
检查及更换
维修项目 措施
警告
Air Filter 或Mist Separator Filter更换时如果不切断空压进行作业，
会有受伤的危险。请务必在切断空压的情况下进行操作。