SM431 Maintenance Handbook (Chi Ver2).pdf - 第36页
SM431 Maintenance Handbook 36 Chap ter 3 Fast & Flexible Chip Shooter Filter Element 团 容器锁定按钮 日 常 检 验 目 录 4. 拆卸仪器 液晶画 面下 方的连 接器电线 。 5. 下拉 Ai r P anel 的 空气过滤 器锁定 按钮 后，向 顺时针方向 进行旋转 分离容 器。 6. 按逆时针 方向旋 转 F ilt er E lem e…
Chapter 3
日常检验目录
SM431 Maintenance Handbook
35
Chapter 3
Fast & Flexible Chip Shooter
Air Filter
确认变色
仪器液晶画面
1
2
日常检验目录
扳手
清除空气中的灰尘，使用空压时防止因杂物等原因发生故障
1. 按OP面板的‘EMG’按钮停止作业后，依次按’STOP’, ‘RESET’按钮。
详细内容请参考’紧急停止（8页）’
2. 切断供应到设备的Main空压
3. 打开设备背面右侧下端的门，确认仪器液晶画面的空压是否处于’0’
Mist Seperator Filter
检查及更换
维修项目 措施
警告
Air Filter 或Mist Separator Filter更换时如果不切断空压进行作业，
会有受伤的危险。请务必在切断空压的情况下进行操作。
SM431 Maintenance Handbook
36
Chapter 3
Fast & Flexible Chip Shooter
Filter Element 团
容器锁定按钮
日常检验目录
4. 拆卸仪器液晶画面下方的连接器电线。
5. 下拉Air Panel的空气过滤器锁定按钮后，向顺时针方向进行旋转分离容器。
6. 按逆时针方向旋转Filter Element团进行分离
7. 按拆卸的逆序进行组装
8. 参考“解除紧急停止（14页）”解除紧急停止后重新进行作业
Chapter 4
定期检验
SM431 Maintenance Handbook
37
Chapter 4
Fast & Flexible Chip Shooter
空气喷射器, 酒精, 超细纤维布块
1. 参考”Front X Frame 的正面移动 (9页)”和”Rear X Frame的背面移动(12页)”把各
X Frame向两端进行移动
2. 按OP面板的‘EMG’按钮停止作业后，依次按’STOP’, ‘RESET’按钮。
详细内容请参考’紧急停止（8页）’
3. 用空气喷射器清扫Mirror的灰尘。
4. 如果没有完全消除杂物时，在干净的布沾少量的酒精后进行擦拭
5. 参考“解除紧急停止（14页）”解除紧急停止后重新进行作业
Head Mirror
清扫
维修项目
措施
定期检验