SM431 Maintenance Handbook (Chi Ver2).pdf - 第48页

SM431 Maintenance Handbook 48 Chap ter 5 Fast & Flexible Chip Shooter 每 月 检 验 真空清扫器 1. 参考 “ 切 断电源 步骤 ( 7页 )” 关闭 设备的 电源 2. 用十字形 (+) 螺丝 刀拆卸 设备右侧 Cov er 。 C ov e r C oo l in g F an 检 查及 清 扫 维 修 项 目 措 施 3. 用真空清 扫器清 扫 C o…

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Chapter 5
每月检验
SM431 Maintenance Handbook
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Chapter 5
Fast & Flexible Chip Shooter
Out
Entry Shuttle
Work Zone
Exit Shuttle
Exit2
Exit1
Entry2
Entry1
Rear Work1
Rear Work2
Front Work2
Front Work1
FRONTFRONT
REAR
REAR
每月检验
5. 利用棉棒和超细纤维布清扫传感器窗口
6. 参考“解除紧急停止（14页）”解除紧急停止后重新进行作业
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Chapter 5
Fast & Flexible Chip Shooter
每月检验
真空清扫器
1. 参考“切断电源步骤(7页)”关闭设备的电源
2. 用十字形(+)螺丝刀拆卸设备右侧Cover。
Cover Cooling Fan
检查及清扫
维修项目
措施
3. 用真空清扫器清扫Cooling Fan(2个)
4. 清扫后打开总开关检查Cooling Fan的噪音及运行状态。
5. 如果无异常按拆卸的逆序进行组装
如果有异常噪音及运行异常则重新关闭设备的主电源后更换冷却扇。
警告
打开设备主电源时冷却扇启动，可能手受到伤，误动电缆等可能会触电因此
操作时需要特别注意
警告
更换冷却扇伴随危险，请与本公司C/S公司(STS)或当地代理店
(Local Agent)咨询后采取措施
Chapter 5
每月检验
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Chapter 5
Fast & Flexible Chip Shooter
每月检验
扳手, 真空清扫器
1. 参考“切断电源步骤(7页)”关闭设备的电源
2. 利用十字形(+)螺丝刀拆卸设备正面盖
Control Rack Cooling Fan
检查及清扫
维修项目
措施
3. 向前拉Control Rack
4. 利用十字形(+)螺丝刀拆卸Control Rack Cover