DECAN_S2_Troubleshooting_Guide(Chi_Ver4.3)_Print_Web.pdf - 第129页
1-107 MMI 错误码 ( Error Code ) 和问题解决 在 ANC 对话框点击 <Shutter On/Off> 按钮确认闸门 是否正常动作。

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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Troubleshooting Guide
[措施方法]
按”STOP”按钮关闭蜂鸣器。
“按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式
点击”READY” 按钮给设备提供电源。
在ANC 对话框点击’Fiducial Mark Detail …’后移动到Fiducial Mark位置确认
Fiducial Mark位置是否准确设置。如果位置设置错误请重新进行示教。
首先点击 按钮执行”Position”对话框,在ANC菜单点击’Hole Position Detail
…’后,为确认槽坐标是否准确选择错误发生的ANC槽,确认要移动的设备是否
选择为”Fid Cam”。
还有点击<Move> 按钮移动到相应ANC 槽位置确认槽的中心是否与设置的位置
一致。另外,利用示教框手动下降Z轴确认ANC 槽坐标的 Z值是否准确。

1-107
MMI
错误码(
Error Code
)和问题解决
在ANC对话框点击<Shutter On/Off>按钮确认闸门是否正常动作。

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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Troubleshooting Guide
$6040 Z轴没有移动到PUT的位置。[FREEZE LEVEL]
[原因]
Z轴为吸嘴的PUT动作下降(DOWN)时发生错误。
[措施方法]
确认相应ANC Hole位置和Z 轴Offset。
确认ANC槽位置请参照$6030的[措施方法]中的ANC槽位置确认部分,确认相应
磁头的Z轴Offset值是否准确设置。
校正Z轴Offset方法请参照”Administrator’s Guide”的 “11.3.6 Head Z / R Offset
Calibration”。
$6050 Z轴进行PUT后,没有移动到安全高度。[FREEZELEVEL]
[原因]
Z轴为吸嘴的PUT动作上升(UP)时发生错误。
[措施方法]
执行$6040措施方法。
$6060 因为Head 上有吸嘴,不能进行GET。[FREEZELEVEL]
[原因]
将要进行GET时,在Head上实际有吸嘴的情况。
[措施方法]
按”STOP”
按钮关闭蜂鸣器。
“按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式