DECAN_S2_Troubleshooting_Guide(Chi_Ver4.3)_Print_Web.pdf - 第130页
1-108 Advanced Chip Sho oter DECAN S2 Troubleshooting Guide $6040 Z 轴没 有移动到 PUT 的位置。 [FREEZE LEVEL] [ 原因 ] Z 轴为吸嘴 的 PUT 动作下降 （ DOWN ） 时发生 错误。 [ 措施方法 ] 确认相应 ANC Hole 位置和 Z 轴 Offset 。 确认 ANC 槽位置请参照 $6030 的 [ 措施方法 ] 中…
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MMI
错误码（
Error Code
）和问题解决
在ANC对话框点击<Shutter On/Off>按钮确认闸门是否正常动作。
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Troubleshooting Guide
$6040 Z轴没有移动到PUT的位置。[FREEZE LEVEL]
[原因]
Z轴为吸嘴的PUT动作下降（DOWN）时发生错误。
[措施方法]
确认相应ANC Hole位置和Z 轴Offset。
确认ANC槽位置请参照$6030的[措施方法]中的ANC槽位置确认部分，确认相应
磁头的Z轴Offset值是否准确设置。
校正Z轴Offset方法请参照”Administrator’s Guide”的 “11.3.6 Head Z / R Offset
Calibration”。
$6050 Z轴进行PUT后，没有移动到安全高度。[FREEZELEVEL]
[原因]
Z轴为吸嘴的PUT动作上升（UP）时发生错误。
[措施方法]
执行$6040措施方法。
$6060 因为Head 上有吸嘴，不能进行GET。[FREEZELEVEL]
[原因]
将要进行GET时，在Head上实际有吸嘴的情况。
[措施方法]
按”STOP”
按钮关闭蜂鸣器。
“按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式
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错误码（
Error Code
）和问题解决
用手确认该Head上有没有吸嘴。
点击”READY”按钮给设备提供电源。
相应磁头上实际存在吸嘴，但在ANC 菜单的对话框中设置为错误发生磁头上未
贴装吸嘴的状态，则核对’No real motion(Manual)’，再选择错误发生磁头后，选
择该磁头上实际配置吸嘴的 ANC槽，然后点击<Pick>重新进行ANC设置。
$6070 在Head 上有吸嘴。但没有进行GET。[FREEZE LEVEL]
[原因 ]
吸嘴进行GET动作后，因为ANC Pocket的中心不对，或设定不适当的高度，实际
在Head上有吸嘴的情况。
未准确执行吸嘴确认的情况。
[措施方法 ]
执行$6030措施方法。
$6080 Z轴没有移动到 GET 的位置。[FREEZE LEVEL]
[原因 ]
Z轴为吸嘴的GET 动作下降（DOWN）时发生错误。
[措施方法 ]
执行$6040措施方法。
$6090 Z轴进行GET 后，没有移动到安全高度。[FREEZE LEVEL]
[原因 ]
Z轴为吸嘴的GET 动作上升（UP）时发生错误。