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MODEL TPM-1 10F/R 0108-001 66 基板認識部 P.E.C. RECOGNITION SECTION Fig. G-4 基板認識 Y 軸 P.E.C. Recognition Y Axis 373 309 361 372 308 311 313 368 367 See Fig.G-1 Key No.23 See Fig.K-1 Key No.4 See Fig.G-1 Key No.23 366 366 301 …
MODEL TPM-110F/R
0108-001
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
65
G-3
201 630 095 4463 MECH PARTS 1 748G--210-201
202 630 095 4470 MECH PARTS 1 748G--210-202
203 630 095 4487 MECH PARTS 1 748G--210-203
204 630 089 2123 SOLENOID VALVE 1 YSV078,079 748G--210-204
204 -01 630 091 2227 SOLENOID VALVE 2
204 -02 630 091 2234 AIR LINE EQPT 1
205 630 103 0180 BRACKET 1 748G--210-205
206 630 004 1002 PIPE FITTINGS 1 748G--210-206
207 630 069 0538 PIPE FITTINGS 1 748G--210-207
208 630 003 6541 AIR LINE EQPT 2 748G--210-208
209 630 088 4470 PIPE FITTINGS 2 748G--210-209
210 630 080 5420 PIPE FITTINGS 2 748G--210-210
211 630 003 5124 AIR LINE EQPT 1 748G--210-211
261 630 000 7749 BOLT,HEX-SCT 8 748G--210-261
262 411 141 4107 WASHER V 5X10X1 8 748G--210-262
263 411 141 6705 WASHER SPR 5 8 748G--210-263
264 630 000 7671 BOLT,HEX-SCT 2 748G--210-264
265 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 5 748G--210-265
266 411 141 2905 WASHER SPR 4 5 748G--210-266
267 630 000 7633 BOLT,HEX-SCT 3 748G--210-267
MODEL TPM-110F/R
0108-001
66
基板認識部 P.E.C. RECOGNITION SECTION
Fig. G-4 基板認識 Y 軸 P.E.C. Recognition Y Axis
373
309
361
372
308
311
313
368
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See Fig.G-1
Key No.23
See Fig.K-1
Key No.4
See Fig.G-1
Key No.23
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Fig.G-4
TPM-100F/R
TPM-110F/R
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MODEL TPM-110F/R
0108-001
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
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G-4
301 630 088 5170 BALL SCREW 1 748G--210-301
302 630 088 2896 GUIDE,LINEAR 1 748G--210-302
303 630 088 2889 GUIDE,LINEAR 1 748G--210-303
304 630 091 2432 MOTOR,STEPPING 1 MPM033, B2803-D21ASM
748G--210-304
305 630 013 6241 BEARING,UNIT 1 748G--210-305
306 630 088 3572 COUPLING 1 748G--210-306
307 630 088 3640 SENSOR,PHOTO 2 BPH046,331 748G--210-307
308 630 088 3633 SENSOR,PHOTO 1 BPH334 748G--210-308
309 630 088 1141 PLATE 1 748G--210-309
310 630 088 1158 BRACKET 1 748G--210-310
311 630 088 1165 PLATE 1 748G--210-311
312 630 088 1172 PLATE 2 748G--210-312
313 630 088 1196 BLOCK 1 748G--210-313
314 630 088 1080 BRACKET 1 748G--210-314
315 630 082 2519 PIN,LOCATE 2 748G--210-315
361 630 048 0368 BOLT,HEX-SCT 2 748G--210-361
362 630 000 7930 BOLT,HEX-SCT 2 748G--210-362
363 630 000 7893 BOLT,HEX-SCT 4 748G--210-363
364 630 000 7886 BOLT,HEX-SCT 2 748G--210-364
365 630 000 7763 BOLT,HEX-SCT 4 748G--210-365
366 630 000 7664 BOLT,HEX-SCT 13 748G--210-366
367 630 000 7657 BOLT,HEX-SCT 11 748G--210-367
368 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 6 748G--210-368
369 630 000 7619 BOLT,HEX-SCT 6 748G--210-369
370 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 10 748G--210-370
371 411 141 2905 WASHER SPR 4 10 748G--210-371
372 411 041 5600 SCR PAN 3X4 6 748G--210-372
373 630 000 8920 SET SCREW 2 748G--210-373