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MODEL TPM-1 10F/R 0108-001 Key No . P AR T No . P AR T NAME Q’ty REMARKS NOTE 67 G-4 30 1 630 088 5170 BALL SCREW 1 748G--210-301 30 2 630 088 2896 GUIDE,LINEAR 1 748G--210-302 30 3 630 088 2889 GUIDE,LINEAR 1 748G--210-…
MODEL TPM-110F/R
0108-001
66
基板認識部 P.E.C. RECOGNITION SECTION
Fig. G-4 基板認識 Y 軸 P.E.C. Recognition Y Axis
373
309
361
372
308
311
313
368
367
See Fig.G-1
Key No.23
See Fig.K-1
Key No.4
See Fig.G-1
Key No.23
366
366
301
363
310
370
302
303
371
367
371
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314
307
312
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365
367
305
306
304
362
307
312
370
371
369
372
Fig.G-4
TPM-100F/R
TPM-110F/R
315
364
MODEL TPM-110F/R
0108-001
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
67
G-4
301 630 088 5170 BALL SCREW 1 748G--210-301
302 630 088 2896 GUIDE,LINEAR 1 748G--210-302
303 630 088 2889 GUIDE,LINEAR 1 748G--210-303
304 630 091 2432 MOTOR,STEPPING 1 MPM033, B2803-D21ASM
748G--210-304
305 630 013 6241 BEARING,UNIT 1 748G--210-305
306 630 088 3572 COUPLING 1 748G--210-306
307 630 088 3640 SENSOR,PHOTO 2 BPH046,331 748G--210-307
308 630 088 3633 SENSOR,PHOTO 1 BPH334 748G--210-308
309 630 088 1141 PLATE 1 748G--210-309
310 630 088 1158 BRACKET 1 748G--210-310
311 630 088 1165 PLATE 1 748G--210-311
312 630 088 1172 PLATE 2 748G--210-312
313 630 088 1196 BLOCK 1 748G--210-313
314 630 088 1080 BRACKET 1 748G--210-314
315 630 082 2519 PIN,LOCATE 2 748G--210-315
361 630 048 0368 BOLT,HEX-SCT 2 748G--210-361
362 630 000 7930 BOLT,HEX-SCT 2 748G--210-362
363 630 000 7893 BOLT,HEX-SCT 4 748G--210-363
364 630 000 7886 BOLT,HEX-SCT 2 748G--210-364
365 630 000 7763 BOLT,HEX-SCT 4 748G--210-365
366 630 000 7664 BOLT,HEX-SCT 13 748G--210-366
367 630 000 7657 BOLT,HEX-SCT 11 748G--210-367
368 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 6 748G--210-368
369 630 000 7619 BOLT,HEX-SCT 6 748G--210-369
370 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 10 748G--210-370
371 411 141 2905 WASHER SPR 4 10 748G--210-371
372 411 041 5600 SCR PAN 3X4 6 748G--210-372
373 630 000 8920 SET SCREW 2 748G--210-373
MODEL TPM-110F/R
0108-001
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基板認識部 P.E.C. RECOGNITION SECTION
Fig. G-5 ケーブル Cable
405
461
402
406
462
463
401
409
408
See Fig.G-3
Key No.201
See Fig.G-1
Key No.3
See Fig.G-1
Key No.23
See Fig.G-1
Key No.13
See Fig.G-3
Key No.204
See Fig.G-2
Key No.112
See Fig.G-1
Key No.6
See Fig.G-1
Key No.10
See Fig.G-1
Key No.26
Fig.G-5
TPM-100F/R
TPM-110F/R
401
410
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404
407