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4OM-1609 1-55 1 章 4. メンテナンス方法 1007-003 4.2 ノズルフィルタの交換 4.2.1 ノズルフィルタの取外し方法 以下の図のようにフィルタ抜取り治具を使用して、ノズルフィルタを押し 出します。 フィルタ抜取り治具 吸着ノズル 押す ノズルフィルタを押し出す F4A39-3
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1 章 4. メンテナンス方法
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ソフトマウントノズル洗浄手順
(
1) ノズルスタンドにソフトマウントノズルをセットします。
注 意
(a) ソフトマウントノズル洗浄治具には同一ノズル ID のノズルを
セットしてください。
HG22C、HG32C、HG52C の各ノズルを混載してノズル洗浄は行
わないでください。
(b) ノズルを治具に設置するときは、ノズルの向きに注意してく
ださい。
(2) ガイドピンにしたがってノズル押さえプレートをセットします。
ノート
ソフトマウントノズル先端が 0.3mm 程度縮むまでノズル押さえプ
レートを下げて、止めネジで締めてください。
(3) きれいな水を満たした超音波洗浄器に洗浄治具を沈め、ノズル押さ
えプレートをゆっくり 30 回程度上下させます。
ノート
洗浄液は水以外使用しないでください。また超音波洗浄時はゴミ
の混ざっていないきれいな水を使用してください。
超音波洗浄器洗浄槽
30回程度上下させる。
F4A39-2b
(4) 約 15 分間超音波洗浄を行います。
(5) 超音波洗浄後、超音波洗浄器に入れたまま、再度ノズル押さえプ
レートをゆっくり 30 回程度上下させます。
(6)
超音波洗浄後、ノズルをエアブローし十分に水分を吹き飛ばします。
注 意
別途ソフトマウントノズルの洗浄を行う場合、一度洗浄の行っ
た水は使用しないでください。
ゴミの混ざった水を使用すると、ノズル稼動部にゴミが詰まり、
ノズルの動作に支障をきたすおそれがあります。
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1 章 4. メンテナンス方法
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4.2 ノズルフィルタの交換
4.2.1 ノズルフィルタの取外し方法
以下の図のようにフィルタ抜取り治具を使用して、ノズルフィルタを押し
出します。
フィルタ抜取り治具
吸着ノズル
押す
ノズルフィルタを押し出す
F4A39-3
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1 章 4. メンテナンス方法
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4.2.2 ノズルフィルタの挿入方法
•
高速ノズルの場合
(1)ノズル用フィルタを穴部にセットする。
穴部
ノズル用フィルタ
F4A39-4
(2)フィルタ押え用ブロックをフィルタセット開口部に挿入する。
フィルタ押え用ブロック
F4A39-5
（3)ノズルフィルタ開口部をフィルタ挿入治具に向け、ガイド部にノズ
ルを挿入する。
ノート
ノズルフィルタ開口部の向きに注意してください。
F4A39-6