4OM-1609-004_w.pdf - 第201页
4OM-1609 3-50 3 章 3. 異常 ID と復帰方法 1007-003 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 42b201 排出側シャトルコンベアタイムアウト 装置内からの取込動作中にタイムアウトが発生しました。 基板がコンベア上で停止している可能性があります ①基板の位置を確認してください ②コンベア幅が合っているか確認してください ③システム設定の排出コンベアタイマー値を設定して、取込時間を調整してくだ さい 4…
4OM-1609
3-49
3 章 3. 異常 ID と復帰方法
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42b104 排出側シャトルコンベア検出
動作開始前に停止センサが検出されませんでした
排出する基板が見つかりませんでした。
①基板がセンサに検出されているか確認してください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
42b105 排出側シャトルコンベア検出
動作完了後に減速センサ上で基板を検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42b106 排出側シャトルコンベア検出
動作完了後に減速センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42b107 排出側シャトルコンベア検出
動作完了後に停止センサ上で基板を検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42b108 排出側シャトルコンベア検出
動作完了後に停止センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42b109 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベア上に基板が検出されました
コンベア上の基板を取除いてください。
42b10a 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベア上に基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42b10b 排出側シャトルコンベア検出
装置内からシャトルコンベアに基板が到達していません
装置からの基板受け渡しがされていません。
排出コンベア上で基板が引っ掛かっていないか確認してください。
42b10c 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベア上に基板が残留しています
後工程装置への排出が正常に完了していません。基板の位置を確認してください。
42b10d 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベア上の基板がなくなりました
運転続行可能です。故意に取除いたのでなければ基板がずれていないか確認して
ください。
42b10e 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベアに基板が差し込まれました
基板を取り込めない状態で基板が差し込まれました、差し込んだ基板を取除いて
ください。
42b10f 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベアのセンサが両方検出されています。
基板が 2 枚取り込まれている可能性があります、不定基板を取り除いてください。
1007-003
4OM-1609
3-50
3 章 3. 異常 ID と復帰方法
1007-003
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42b201 排出側シャトルコンベアタイムアウト
装置内からの取込動作中にタイムアウトが発生しました。
基板がコンベア上で停止している可能性があります
①基板の位置を確認してください
②コンベア幅が合っているか確認してください
③システム設定の排出コンベアタイマー値を設定して、取込時間を調整してくだ
さい
42b202 排出側シャトルコンベアタイムアウト
後工程装置への排出動作中にタイムアウトが発生しました。
基板がコンベア間で停止しています、基板の位置を確認してください
①シャトルコンベアからの乗り継ぎ位置が合っているか確認してください
②コンベア幅が合っているか確認してください
42b203 排出側シャトルコンベアタイムアウト
装置内からの受渡位置移動中にタイムアウトが発生しました
ユニットに異常が無いか、干渉物が無いか確認してください。
42b204 排出側シャトルコンベアタイムアウト
後工程装置への授受位置移動中にタイムアウトが発生しました
ユニットに異常が無いか、干渉物が無いか確認してください。
42b301 排出側シャトルコンベア異常
シャトルコンベア動作中に異常が発生しました
-----
T4C5
4OM-1609
3-51
3 章 3. 異常 ID と復帰方法
1007-003
3.4 トレイフィーダ ( 奥 )
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
430201
トレイモータ異常 ( 奥 )
エレベータ異常停止
-----
430202
トレイモータ異常 ( 奥 )
エレベータ異常停止
-----
430203
トレイモータ異常 ( 奥 )
トラバース異常停止
-----
430301
トレイラックシャッタ開閉異常 ( 奥 )
ラックシャッタが所定時間以内にオープンしませんでした。
-----
430302
トレイラックシャッタ開閉異常 ( 奥 )
ラックシャッタが所定時間以内にクローズしませんでした。
ラックシャッタにパレットが挟まっていないか確認してください。
430401
トレイパレットチャック開閉異常 ( 奥 )
パレットチャック爪が所定時間以内にオープンしませんでした。
-----
430402
トレイパレットチャック開閉異常 ( 奥 )
パレットチャック爪が所定時間以内にクローズしませんでした。
-----
431001
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
-----
-----
431002
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
引き出し中トレイ段 No. 不一致 ( 戻し動作 )
-----
431003
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
引き出し中トレイ段 No. 不一致 ( 戻し動作 )
-----
431004
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
動作モード不正 (system)
-----
431005
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
TV 軸位置不定
-----
431006
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
マガジン種別不一致
マガジン 10 段、15 段種別の確認をしてください。
431101
トレイパレット戻し動作異常 ( 奥 )
エレベータプリチェック異常
-----
431102
トレイパレット戻し動作異常 ( 奥 )
エレベータ移動位置異常
-----