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4OM-1609 1-16 1 章 3. メンテナンスか所 ヘッド部 XYビーム部 ノズル ストッカ 部 カート設置部 フィーダベース駆動部 ノズルストッカ部 部品認識カメラ部 基板搬送部 カッタ部 基板搬送部 F4A7 1007-003
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1 章 3. メンテナンスか所
3. メンテナンスか所
3.1 全体図
注 意
装置のカバーを外しての作業も含まれます。
メンテナンス終了後は、カバーを取付けてください。
エア源
装置前面
真空系統
フィーダカート部
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(a)各部の詳細なメンテナンスか所およびメンテナンス方法について
は、“1 章3.2”以降を参照してください。
(b)オプションについては、各特別仕様の取扱説明書を参照してメンテ
ナンスを行ってください。
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1 章 3. メンテナンスか所
ヘッド部
XYビーム部
ノズル ストッカ 部
カート設置部
フィーダベース駆動部
ノズルストッカ部
部品認識カメラ部
基板搬送部
カッタ部
基板搬送部
F4A7
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1 章 3. メンテナンスか所
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3.2 点検、清掃、給油か所
各ユニット別に必要なメンテナンスについて記載します。
周期別に分類したメンテナンスの項目については、“1 章2.メンテナン
スチェックリスト”を参照してください。
3.2.1 エア源
ドレーン
メインエア圧
毎日 点検 所要時間:1分
設定空気圧 0.45 MPa(4.6 kgf/cm
2
)
運転時Min. 0.4 MPa(4.1 kgf/cm
2
)であるこ
とを目視で確認してください。
違っている場合は、調整してください。
エアブロー圧
毎日 点検 所要時間:1分
ゲージ圧が初期設定
0.05 MPa(0.5 kgf/cm
2
)
であることを目視で確認してください。
装置出荷時、設定済みですので、むやみに
変更しないでください。
ドレーン
毎週 清掃
容器などを用意し、各フィルタケース下部
の異色のキャップを下へ引き抜き、
ドレーンの水抜きを行ってください。
所要時間:5分
Zクランプ圧
毎日 点検 所要時間:1分
ゲージ圧が初期設定
0.4 MPa (4.1 kgf/cm
2
)
であることを目視で確認してください。
装置出荷時、設定済みですので、むやみに
変更しないでください。
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