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4OM-1609 3-73 3 章 3. 異常 ID と復帰方法 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 46010e 基板認識 ランド認識に失敗しました 以下の方法を実施してください。 1. 対象のマークが基板上にあることを確認する 2. 基板位置決めをやり直す 460201 2D バーコード異常 2D バーコードの読み取りに失敗しました。 以下の確認を実施してください。 1. 基板位置決め状態 2.2D バーコード位置指定 3…
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
1007-003
3.7 基板認識
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
460101 基板認識
全体基板認識 1 点目
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460102 基板認識
全体基板認識 2 点目
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460103 基板認識
全体基板認識 3 点目
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460104 基板認識
割り基板認識 1 点目
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460105 基板認識
割り基板認識 2 点目
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460106 基板認識
割り基板認識 3 点目
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460107 基板認識
個々基板認識 1 点目
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460108 基板認識
個々基板認識 2 点目
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460109 基板認識
個々基板認識 3 点目
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46010a 基板認識
ランド基板認識 1 点目
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46010b 基板認識
ランド基板認識 2 点目
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46010c 基板認識
ランド基板認識 3 点目
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46010d 基板認識
基板認識に失敗しました
以下の方法を実施してください。
1. 基板位置決めをやり直す
2. 基板認識マーク位置が正しいか確認する
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
46010e 基板認識
ランド認識に失敗しました
以下の方法を実施してください。
1. 対象のマークが基板上にあることを確認する
2. 基板位置決めをやり直す
460201 2D バーコード異常
2D バーコードの読み取りに失敗しました。
以下の確認を実施してください。
1. 基板位置決め状態
2.2D バーコード位置指定
3.2D バーコードの汚れの有無
T4C7
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
1007-003
3.8 自動段取り
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
490603 コンベア幅自動段取り
L コンベア上に基板が存在します。
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490604 コンベア幅自動段取り
P コンベア上に基板が存在します。
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490617 コンベア幅自動段取り
ソフトリミット
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490690 コンベア幅自動段取り
自動段取り異常 ( その他 )
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490701 ノズル段取り
ノズルストッカがセットされていません。
ストッカベースに正確にセットされているか確認して下さい。
490702 ノズル段取り
モータ異常を検出しました。
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490703 ノズル段取り
ノズルストッカシャッター開閉動作に失敗しました。
ノズルの浮き上がりが無いか、開閉に引っ掛かり等ないか確認して下さい。
490704 ノズル段取り
ノズルストッカ上下動作に失敗しました。
上下シリンダに異常が無いか確認して下さい。
490705 ノズル段取り
装着するノズルがストッカにありません。
ストッカ配置データと実配置に違いが無いか確認してください。
490707 ノズル段取り
ノズル交換動作にはノズルストッカに最低 1 つの空きスペースが必要です、空き
スペースを確保してください。
ストッカ配置データを確認してください。
490708 ノズル段取り
生産に必要なノズルが不足しています。
不足しているノズルをノズルストッカに設置してください。
490709 ノズル段取り
ノズル交換データ異常が発生しました。
ノズル配置・ストッカ配置データを確認してください。
49070a ノズル段取り
ノズルストッカ位置教示に失敗しました。
教示画面でノズルストッカ位置を再教示をしてください。
49070c ノズル段取り
ノズルレベル教示で異常値を検出しました、ノズルレベル教示画面にて再度ノズ
ルレベル教示を実行し、異常値が無いか確認して下さい。
ノズルレベル教示画面にて再度ノズルレベル教示を実行し、異常値が無いか確認
して下さい。