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4OM-1609 3-51 3 章 3. 異常 ID と復帰方法 1007-003 3.4 トレイフィーダ ( 奥 ) 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 430201 トレイモータ異常 ( 奥 ) エレベータ異常停止 ----- 430202 トレイモータ異常 ( 奥 ) エレベータ異常停止 ----- 430203 トレイモータ異常 ( 奥 ) トラバース異常停止 ----- 430301 トレイラックシャッタ開閉異常 (…
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
1007-003
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42b201 排出側シャトルコンベアタイムアウト
装置内からの取込動作中にタイムアウトが発生しました。
基板がコンベア上で停止している可能性があります
①基板の位置を確認してください
②コンベア幅が合っているか確認してください
③システム設定の排出コンベアタイマー値を設定して、取込時間を調整してくだ
さい
42b202 排出側シャトルコンベアタイムアウト
後工程装置への排出動作中にタイムアウトが発生しました。
基板がコンベア間で停止しています、基板の位置を確認してください
①シャトルコンベアからの乗り継ぎ位置が合っているか確認してください
②コンベア幅が合っているか確認してください
42b203 排出側シャトルコンベアタイムアウト
装置内からの受渡位置移動中にタイムアウトが発生しました
ユニットに異常が無いか、干渉物が無いか確認してください。
42b204 排出側シャトルコンベアタイムアウト
後工程装置への授受位置移動中にタイムアウトが発生しました
ユニットに異常が無いか、干渉物が無いか確認してください。
42b301 排出側シャトルコンベア異常
シャトルコンベア動作中に異常が発生しました
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T4C5
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
1007-003
3.4 トレイフィーダ ( 奥 )
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
430201
トレイモータ異常 ( 奥 )
エレベータ異常停止
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430202
トレイモータ異常 ( 奥 )
エレベータ異常停止
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430203
トレイモータ異常 ( 奥 )
トラバース異常停止
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430301
トレイラックシャッタ開閉異常 ( 奥 )
ラックシャッタが所定時間以内にオープンしませんでした。
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430302
トレイラックシャッタ開閉異常 ( 奥 )
ラックシャッタが所定時間以内にクローズしませんでした。
ラックシャッタにパレットが挟まっていないか確認してください。
430401
トレイパレットチャック開閉異常 ( 奥 )
パレットチャック爪が所定時間以内にオープンしませんでした。
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430402
トレイパレットチャック開閉異常 ( 奥 )
パレットチャック爪が所定時間以内にクローズしませんでした。
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431001
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
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431002
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
引き出し中トレイ段 No. 不一致 ( 戻し動作 )
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431003
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
引き出し中トレイ段 No. 不一致 ( 戻し動作 )
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431004
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
動作モード不正 (system)
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431005
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
TV 軸位置不定
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431006
トレイ供給動作異常 ( 奥 )
マガジン種別不一致
マガジン 10 段、15 段種別の確認をしてください。
431101
トレイパレット戻し動作異常 ( 奥 )
エレベータプリチェック異常
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431102
トレイパレット戻し動作異常 ( 奥 )
エレベータ移動位置異常
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
1007-003
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
431103
トレイパレット戻し動作異常 ( 奥 )
エレベータ波形設定異常
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431104
トレイパレット戻し動作異常 ( 奥 )
エレベータ動作中異常
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431201
トレイパレット戻し動作異常 ( 奥 )
トラバースプリチェック異常
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431202
トレイパレット戻し動作異常 ( 奥 )
トラバース移動位置異常
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431203
トレイパレット戻し動作異常 ( 奥 )
トラバース波形設定異常
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431204
トレイパレット戻し動作異常 ( 奥 )
トラバース動作中異常
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431206
トレイパレット戻し動作異常 ( 奥 )
戻し動作開始時パレット無し (B15411)
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431301
トレイパレット引き出し動作異常 ( 奥 )
エレベータプリチェック異常
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431302
トレイパレット引き出し動作異常 ( 奥 )
エレベータ移動位置異常
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431303
トレイパレット引き出し動作異常 ( 奥 )
エレベータ波形設定異常
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431304
トレイパレット引き出し動作異常 ( 奥 )
エレベータ動作中異常
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431305
トレイパレット引き出し動作異常 ( 奥 )
エレベータ異常停止
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431401
トレイパレット引き出し動作異常 ( 奥 )
トラバースプリチェック異常
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431402
トレイパレット引き出し動作異常 ( 奥 )
トラバース移動位置異常
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431403
トレイパレット引き出し動作異常 ( 奥 )
トラバース波形設定異常
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