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4OM-1609 1-15 1 章 3. メンテナンスか所 3. メンテナンスか所 3.1 全体図 注 意 装置のカバーを外しての作業も含まれます。 メンテナンス終了後は、カバーを取付けてください。 エア源 装置前面 真空系統 フィーダカート部 F4A6 (a) 各部の詳細なメンテナンスか所およびメンテナンス方法について は、 “1 章3.2”以降を参照してください。 (b) オプションについては、各特別仕様の取扱説明書を参照…
4OM-1609
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1 章 2. メンテナンスチェックリスト
対象ユニット 点検、清掃、給油か所 作業 グリス 作業用具 チェック
3.2.11 ノズルストッカ
部
高速ノズルス
トッカ
ノズルストッカ摺動部 清掃、
給油
DE1 油ウエス
シャッタフランジピン
摺動部
清掃、
給油
NM1
3.2.11
ノズルストッカ
部
多機能ノズルス
トッカ
ノズルストッカ摺動部 清掃、
給油
DE1 油ウエス
シャッタフランジピン
摺動部
清掃、
給油
NM1
3.2.12
制御ボックス部 フィルタ 清掃 -----
3.2.13
ファン 排気ファン 清掃 -----
吸気ファン 清掃 -----
T4A13
2.5 6 か月ごとメンテナンス
グリースの表記
DE1 ： ダフニーエポネックスグリース No.1
IEL/V： バリエルタIEL/V
対象ユニット 点検、清掃、給油か所 作業 グリス 作業用具 チェック
3.2.8 XY ビーム部 X 軸ケーブル側面 清掃、
給油
IEL/V 油ウエス、ハケ
X 軸ケーブル
固定か所
点検 ----- -----
X 軸リニアスケール 清掃 ----- ウエス
Y 軸ケーブル側面 清掃、
給油
IEL/V 油ウエス、ハケ
Y 軸ケーブル
固定か所
点検 ----- -----
Y 軸リニアスケール 清掃 ----- ウエス
3.2.9
基板位置決め部 ボールネジ
スプライン
清掃、
給油
DE1 油ウエス、
ハンドグリースガン、
H 形
T4A14
2.6 1 年ごとメンテナンス
対象ユニット 点検、清掃、給油か所 作業 グリス 作業用具 チェック
3.2.6 フィーダカート
部 ( カッタ )
フッ素シート 交換 ----- ドライバー、レンチ
ウレタンクランプ
ASSY
交換 ----- ドライバー、レンチ
フラットリング 交換 ----- ドライバー、レンチ
トルクドライバ
3.2.7
ヘッド部
高速ヘッド
ノズルシャフト 点検
清掃
----- 流量計、
真空系
T4A15
1103-004
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1 章 3. メンテナンスか所
3. メンテナンスか所
3.1 全体図
注 意
装置のカバーを外しての作業も含まれます。
メンテナンス終了後は、カバーを取付けてください。
エア源
装置前面
真空系統
フィーダカート部
F4A6
(a)各部の詳細なメンテナンスか所およびメンテナンス方法について
は、“1 章3.2”以降を参照してください。
(b)オプションについては、各特別仕様の取扱説明書を参照してメンテ
ナンスを行ってください。
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1 章 3. メンテナンスか所
ヘッド部
XYビーム部
ノズル ストッカ 部
カート設置部
フィーダベース駆動部
ノズルストッカ部
部品認識カメラ部
基板搬送部
カッタ部
基板搬送部
F4A7
1007-003