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第 4 章 解决问题 4-27 Solutions for Error s 1. Emergency S/W [症 状 ] y 紧急 (Emergency S/W) 按钮处于按下状态。 [ 处 理] x Emergency S/W 复 原后重试。 x 请确认 Emergency S/W 的不良或接触不良。 Emergency Switch 分别位于 Front 右侧和 Rear 左侧，应及时可以强制停止运行。 EMERGENCY 2 E…

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Mx Series
Manual
4-26
错误代码 信息内容 措施 措施方法及参考
12030 - 12037 Rear Gantry 1号-6号Head喷
嘴有异物或Place后喷嘴检测到
部件。
请确认喷嘴。
请参考喷嘴检验方法进行清洗和管理。
13000 - 13007 (Front Gantry Head1-6)放置
喷嘴的过程中出现错误。
请确认ANC设置及状态。
13010 - 13017 (Rear Gantry Head1-6)放置
喷嘴的过程中出现错误。
请确认ANC设置及状态。
13020 - 13027 (Front Gantry Head1-6)选取
喷嘴的过程中出现错误。
请确认ANC设置及状态。
13030 - 13037 (Rear Gantry Head1-6)选取
喷嘴的过程中出现错误。
请确认ANC设置及状态。
14001 Shuttle的H轴出现了settling
错误。
不适用于MxSeries。
14002 检测到Shuttle部托盘的Interloc
k感应器。
不适用于MxSeries。
14003 检测到未指定的托盘。 不适用于用MxSeries。
14004 Shuttle端接驳台未能对Board
进行Road。
不适用于MxSeries。
14005 Shuttle端接驳台未能对Board
进行Unload。
不适用于MxSeries。
21000 等待下一个装备的基板要求信
号。
请确认Conveyor的状态。 4-46
21001 请拆下入口处的基板。 请确认Conveyor的状态。 4-46
21002 请拆下出口处的基板。 请确认Conveyor的状态。 4-46
21003 等待入口处供应基板。 请确认Conveyor的状态。 4-46
第4章 解决问题
4-27
Solutions for Errors
1. Emergency S/W
[症状]
y
紧急(Emergency S/W)按钮处于按下状态。
[处理]
x
Emergency S/W复原后重试。
x
请确认Emergency S/W的不良或接触不良。
Emergency Switch分别位于Front右侧和Rear左侧，应及时可以强制停止运行。
EMERGENCY 2
EMERGENCY 1
Mx Series
Manual
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2. Door Open
[症状]
y
Door开启状态
[处理]
x
请关闭Door。
x
请确认Door Sensor及开关有无不良，或电缆是否有异常。
-Door开启，画面转换及Switch Key停止作业。
<Door Sensor>
<Door PL Switch>