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SP 80/SP 60 维修手册 1.5 560 小时检查 (1 个月一次 ) Page 1-46 2. 皮带张力的检查 A) 计测位置 请在跨距的中央部进行计测。 搬送传送带 基板定位升降机 B) 计测方法 请计测使用推拉规 以规定的压紧负荷 (F) 压住皮带时皮带的挠曲度 ( δ ) 是否适当。 压紧负荷和挠曲度 基板传送带左 基板传送带右 压紧负荷 F (N) 1.96 1. 96 挠曲度 δ (mm) 4 ±…
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1.5 560 小时检查 (1 个月一次)
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1.5 560
小时检查
小时检查小时检查
小时检查
(
1
个月一次
个月一次个月一次
个月一次
)
1.5.1
基板搬送皮带的检查
基板搬送皮带的检查基板搬送皮带的检查
基板搬送皮带的检查
请检查基板定位升降机、搬送传送带 (两侧) 的基板搬送皮带是否有异常。
使用工具 推拉规、扳手、六角扳手 需要时间 3 ~ 4 分钟
1.
检查皮带伤痕
1.
将电源置于 OFF 状态的同时，空气供给也
要停止。
∗
请锁定电源开关和主气阀。
2.
在各个传送带的端面，用手转动皮带进行
目测检查。
∗
根据检查结果，需要进行更换时
(
1.9.1 基板搬送皮带、滚轮的更换)
1D3C-404P
R
E
S
E
T
O
F
F
O
N
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I
P
P
E
D
1D3C-040E
1E3C-C-MMA01-A02-00
SP80/SP60
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1.5 560 小时检查 (1 个月一次)
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2.
皮带张力的检查
A) 计测位置
请在跨距的中央部进行计测。
搬送传送带
基板定位升降机
B) 计测方法
请计测使用推拉规
以规定的压紧负荷 (F)
压住皮带时皮带的挠曲度 (
δ
)
是否适当。
压紧负荷和挠曲度
基板传送带左 基板传送带右
压紧负荷 F
(N)
1.96 1.96
挠曲度
δ
(mm)
4
±
0.5 2.5
±
0.5
张力的调整
根据检查的结果，如果皮带的张立过大或不足时，请参照下一页，调整张力。
443C-327E
2
3
1
1D3C-181CC0
1D3C-X039
K
1E3C-C-MMA01-A02-00
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3.
皮带张力的调整
搬送传送带
1.
将固定发动机托架的 4 根螺丝拧松。
2.
上下移动发动机托架进行张力调整，然后
拧紧螺栓。
1D3C-414P
1E3C-C-MMA01-A02-00