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SP 80/SP 60 维修手册 1.3 24 小时检查 ( 日常 ) Page 1-29 1.3. 4 基板定位升降机的清扫 基板定位升降机的清扫 基板定位升降机的清扫 基板定位升降机的清扫 ( 结束作业时 结束作业时 结束作业时 结束作业时 ) 结束作业时，请清扫支撑板、夹具爪、基板定位装置的识别用孔。 使用工具 识别孔清扫治具 需要时间 3 ~ 4 分钟 通知 本维护是在电源开关置 ON 的状态下进行的作业。在可动部内进行作业时请…
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10.
将伺服开关置于 ON。
11.
按操作面板的
UNLOCK
+ [刮板闭]。
•
刮板头将会关闭。
∗
结束后，如果按
，将返回 <机器调整
菜单> 画面。
OFF ( )
ON ( )
SERVO
1D3C-CEn-MaSo-001
1
2
1E3C-C-MMA01-A02-00
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1.3.4
基板定位升降机的清扫
基板定位升降机的清扫基板定位升降机的清扫
基板定位升降机的清扫
(
结束作业时
结束作业时结束作业时
结束作业时
)
结束作业时，请清扫支撑板、夹具爪、基板定位装置的识别用孔。
使用工具 识别孔清扫治具 需要时间 3 ~ 4 分钟
通知
本维护是在电源开关置 ON 的状态下进行的作业。在可动部内进行作业时请务必打开
安全盖。
(安全盖打开，可动部电机的电源将被切断。)
名称
支撑板
夹具爪
基板定位装置的识别用孔
1.
按主菜单的 。
•
将显示 <机器调整菜单> 画面。
2.
按操作面板的
UNLOCK
+ [搬送动作]。
•
将显示 <基板搬送> 画面。
∗
用 SP80V 的画面进行说明。
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1D3C-181CC0
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3.
按操作面板的
UNLOCK
+ [前侧]。
•
XY 工作台将移动到前侧。
4.
将伺服开关置于 OFF。
5.
打开前面安全盖。
6.
清扫夹具爪、支撑板、基板定位装置识别
用孔。
∗
用 IPA 或酒精将棉纱等弄湿后擦去附着物。
∗
请用附带的治具清扫识别用孔。
名称
识别孔清扫治具
7.
关闭前面安全盖。
8.
将伺服开关置于 ON。
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OFF ( )
ON ( )
SERVO
1D3C-417P
OFF ( )
ON ( )
SERVO
1D
3C
-4
0
7E
1
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