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1 - 56 0606 - 001 4.5 线传感器的清扫 准备物品 (1) 镜头布 ( 配件 ) (2) 棉棒 (3) 无水乙醇 : 建议 C 2 H 2 O 99.5vol/%( 高纯度的 ) 清扫步骤 ( 1 ) 按“ 调整和维护” 菜单的 [ 定 期 维护 ] 子菜单的 [ 传感器 ( 线传感 器 ) 清扫 ] 按钮，显示“传感器 ( 线传感器 ) 清扫”界面。 Fig.4A56 “传感器 ( 线传感器 ) 清扫”界面 ( 2 …
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4.5 线传感器的清扫
为使元件厚度计测的可靠性稳定并持续，请定期实施线传感器的清扫。
•
请每天清扫。
•
根据使用频率和周围环境等，必要时请改变清扫频率。
线传感器(投光器)
线传感器(受光器)
横向
圆锥盖
圆锥反射镜的
表面
线传感器(投光器)
Fig.4A55
•
清扫投光器时，请横向轻轻擦拭圆锥反射镜的表面。
Notice
纵向擦拭，有可能损坏圆锥盖。
使用损坏的圆锥盖，有时无法正常进行元件识别。
4.5 线传感器的清扫
注意
线传感器的投光器是玻璃制的。
万一损坏投光器时，请务必使用吸尘器回收碎片。
如果用赤手回收碎片，手或手指就有可能受伤。
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4.5 线传感器的清扫
准备物品
(1) 镜头布
( 配件 )
(2) 棉棒
(3) 无水乙醇 : 建议 C
2
H
2
O 99.5vol/%( 高纯度的 )
清扫步骤
(1) 按“调整和维护”菜单的 [ 定期维护 ] 子菜单的 [ 传感器 ( 线传感
器 ) 清扫 ] 按钮，显示“传感器 ( 线传感器 ) 清扫”界面。
Fig.4A56 “传感器 ( 线传感器 ) 清扫”界面
(2) 选择进行线传感器清扫的安装头。
(3) 按 [ 吸嘴收纳 ] 按钮，将吸嘴收纳在吸嘴贮备器。
(4) 按工作台准备完了开关，灭开关灯。
开闭门锁定被解除。
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4.5 线传感器的清扫
(5) 打开开闭门。
注意
马达等的负载电源处于 O F F 状态，但由于双手伸进装置内进
行作业，因此请充分注意安全。
(6) 用手将安装头移动到便于清扫的位置。
(7) 请用镜头布轻轻擦拭线传感器的投光器、受光器。
Notice
擦拭线传感器时，请不要强力擦拭。
否则会划伤线传感器。
(8) 关闭开闭门。
(9) 按工作台准备完了开关，亮开关灯。
开闭门被锁定。
(10) 按 [ 污物检查 ] 按钮。
在选定安装头的“污物检查”栏里显示“正常”或“不正常”。
正常 : 无污物附着或划痕。
不正常 : 有污物附着或划痕。
显示为“正常”时，请进行以下步骤 (20) 以后的操作。
显示为“不正常”时，请从步骤 (4) 开始重新进行。多次进行仍
然为“正常”时，请进行以下步骤 (11) ～ (19) 的操作。
(11) 下降送料器安装台，从装置上卸下送料器批量更换推车。
Reference
关于送料器批量更换推车的拆卸方法请按照第一巻 : 向导 第一章
2.4.8 送料器安装台和送料器批量更换推车章节。
(12) 按工作台准备完了开关，灭开关灯。
开闭门锁定被解除。
Fig.4A57
(“正常”时 )