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1 - 59 - 2 (2) 在过滤器支架的插入孔插入过滤器装卸治具，向上拔出。 过滤器支架的插入孔 抜出时的图像 过滤器装卸治具 Fig.4A62 (3) 更换拔出的过滤器支架的真空过滤器 ( 两个 )。 (4) 用过滤器装卸治具插入过滤器支架时，使过滤器支架的大一 些的插入孔朝向外侧并插入到底 ( 最下限 )，以免插入不完 全。 Notice 请注意不要碰撞电子管等配线。另外，请注意配线不要被挂到 上部模块的上下。 OK NG &l…
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4.6 真空过滤器的更换步骤
4.6 真空过滤器的更换步骤
更换时期
请每隔三个月进行一次更换。
真空
过滤器
Fig.4A59 过滤器支架
准备物品
过滤器装卸治具
Fig.4A60 过滤器装卸治具
更换步骤
Procedure
(1) 向左滑动过滤器紧固件，解除过滤器支架的锁定。
过滤器的锁定解除状态过滤器的锁定状态
Fig.4A61
Notice
滑动过滤器紧固件时，请注意不要碰撞配线等。
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(2) 在过滤器支架的插入孔插入过滤器装卸治具，向上拔出。
过滤器支架的插入孔
抜出时的图像
过滤器装卸治具
Fig.4A62
(3) 更换拔出的过滤器支架的真空过滤器 ( 两个 )。
(4) 用过滤器装卸治具插入过滤器支架时，使过滤器支架的大一
些的插入孔朝向外侧并插入到底 ( 最下限 )，以免插入不完
全。
Notice
请注意不要碰撞电子管等配线。另外，请注意配线不要被挂到
上部模块的上下。
OK
NG
<OK : 正确的插入高度>
过滤器紧固爪高于过滤器
支架上面。
<NG : 插入不完全>
过滤器支架的上面高于
过滤器紧固爪。
过滤器紧固爪
Fig.4A63
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4.6 真空过滤器的更换步骤
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(5) 试着按旋转方向转动，确定不旋转时，拔出过滤器装卸治具，
拔出时注意不要使插入的过滤器支架悬浮。
(6) 注意以下几点，向右滑动过滤器紧固件，锁定过滤器支架。
•
过滤器紧固爪是否到达过滤器支架上面的中间位置。
•
球塞套是否被锁住。
球赛套锁定状态
向右滑动过滤器紧固件
过滤器的锁定解除状态 过滤器的锁定状态
过滤器紧固爪锁定位置
Fig.4A64
滑动时，若过滤器紧固爪碰到过滤器支架侧面而无法锁定时，
可能是因为插入孔进入异物或过滤器支架没有完全被压进
去。
请确认碰撞的过滤器支架，若插入孔进入异物时，清扫过滤
器支架。
结束清扫后以及确认没有进入异物时，请从步骤 (4) 开始重
新进行。
Notice
若没有正常安装过滤器支架，有时就会发生吸取错误或过滤器被拔出
来碰到安装头导致损坏，因此请注意。
4.6 真空过滤器的更换步骤
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