SP60P-L操作手册.pdf - 第42页
SP 80/SP 60 参考手册 1.7 基板吸 着盒 Page 1-42 1.7. 3 基本尺寸 基本尺寸 基本尺寸 基本尺寸 ( 后侧基准 后侧基准 后侧基准 后侧基准 : 选购件 选购件 选购件 选购件 ) 1B4C-056C 1E3C-C- RMA01- A05-00
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参考手册
1.7 基板吸着盒
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1.7.2
基本尺寸
基本尺寸基本尺寸
基本尺寸
(
前侧基准
前侧基准前侧基准
前侧基准
)
1. 请确保使用基板的宽度在图中所示的基板宽度之内。
2. 盒长类型 A 的基板长度: 330 mm 以下
1B4C-055C
1E3C-C-RMA01-A05-00
SP80/SP60
参考手册
1.7 基板吸着盒
Page 1-42
1.7.3
基本尺寸
基本尺寸基本尺寸
基本尺寸
(
后侧基准
后侧基准后侧基准
后侧基准
:
选购件
选购件选购件
选购件
)
1B4C-056C
1E3C-C-RMA01-A05-00
SP80/SP60
参考手册
1.7 基板吸着盒
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1.7.4
盒设计示例
盒设计示例盒设计示例
盒设计示例
(
前侧基准、后侧基准共用
前侧基准、后侧基准共用前侧基准、后侧基准共用
前侧基准、后侧基准共用
)
类型
A
1B4C-057C
1E3C-C-RMA01-A05-00