SP60P-L操作手册.pdf - 第47页
SP 80/SP 60 参考手册 1.7 基板吸 着盒 Page 1-47 1.7. 8 后侧基准逆流设计示例 后侧基准逆流设计示例 后侧基准逆流设计示例 后侧基准逆流设计示例 1D3C-930C 1E3C-C- RMA01- A05-00
SP80/SP60
参考手册
1.7 基板吸着盒
Page 1-46
1.7.7
前侧基准顺流设计示例
前侧基准顺流设计示例前侧基准顺流设计示例
前侧基准顺流设计示例
1D3C-929C
1E3C-C-RMA01-A05-00
SP80/SP60
参考手册
1.7 基板吸着盒
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1.7.8
后侧基准逆流设计示例
后侧基准逆流设计示例后侧基准逆流设计示例
后侧基准逆流设计示例
1D3C-930C
1E3C-C-RMA01-A05-00
SP80/SP60
参考手册
1.7 基板吸着盒
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1.7.9 Z-
板平面图
板平面图板平面图
板平面图
M/MU 尺寸 (前侧基准)
1D3C-921C
1E3C-C-RMA01-A05-00