SP60P-L操作手册.pdf - 第46页

SP 80/SP 60 参考手册 1.7 基板吸 着盒 Page 1-46 1.7. 7 前侧基准顺流设计示例 前侧基准顺流设计示例 前侧基准顺流设计示例 前侧基准顺流设计示例 1D3C-929C 1E3C-C- RMA01- A05-00

100%1 / 50
SP80/SP60
参考手册
1.7 基板吸着盒
Page 1-45
1.7.6
顶板设计示例
顶板设计示例顶板设计示例
顶板设计示例
(
后侧基准
后侧基准后侧基准
后侧基准
)
设计条件
1) 基板尺寸: L408 mm
×
W182 mm
2) 基板流向: 右
→
左流向
3) 基板定位基准: 后侧基准、中心基准
4) 使用盒类型: 类型 A
1B4C-060C
1E3C-C-RMA01-A05-00
SP80/SP60
参考手册
1.7 基板吸着盒
Page 1-46
1.7.7
前侧基准顺流设计示例
前侧基准顺流设计示例前侧基准顺流设计示例
前侧基准顺流设计示例
1D3C-929C
1E3C-C-RMA01-A05-00
SP80/SP60
参考手册
1.7 基板吸着盒
Page 1-47
1.7.8
后侧基准逆流设计示例
后侧基准逆流设计示例后侧基准逆流设计示例
后侧基准逆流设计示例
1D3C-930C
1E3C-C-RMA01-A05-00